安全を守るために：化学処理エリアでの赤外線ヒーターの使用
半導体の洗浄作業を行う場合、その危険性はよく分かっているでしょう。使われる溶剤は、火花が発生すると非常に危険です。赤外線ヒーターをその環境に設置すると、さらにリスクが高まります。わずかな電気的漏れや火花があれば、大惨事につながります。 通常の配線では不十分です。だからこそ、テフロンコーティングされた配線や強力なシールを使用して、電流が溶剤から離れているようにしています。
なぜテフロンか？
ほとんどのプラスチックは酸に弱いです。ウェハーの洗浄工程では、強力な化学薬品が通常の絶縁材を破壊したり、溶かしてしまったりします。 **しかし、テフロンは違います。**テフロンは酸に全く影響されません。最も過酷な洗浄剤がかかっても、テフロンはそのまま機能し続け、電流を適切な場所に保ちます。 私たちは、配線を高温に耐えられるテフロンで覆っており、これにより絶縁材が焼けることがありません。溶剤が多い環境では、単一の短絡でも大変なことになります。接続部をしっかりと密封することで、発火を未然に防ぎます。
デメリット
ただし、この保護層を使うと、熱抵抗が少し増えます。 そのため、裸の配線の場合と比べて、ヒーターが温まるのに数秒遅くなります。わずかな遅延ですが、建物を安全に保つためには仕方のない代償です。 私たちは、化学薬品の影響に耐えられるように、ハロゲンフィラメントを安全に保護するように設計しています。ただし、電源には注意が必要です。電圧がヒーターの規格に完全に合致しているか確認してください。過剰な電圧がかかると、内部に圧力が溜まり、結果として石英のケースが割れてしまいます。
設置時のヒント
これらのヒーターを配線する際は、接続部のシールを必ず確認してください。 **注意してください。**設置中にテフロンコーティングが傷つくと、保護機能が失われます。まるでレインコートに穴が開くようなものです。一度穴が開くと、化学薬品が内部に入ってしまいます。指定されたシールを使って、圧力をしっかりと封じ込めてください。そうすれば問題ありません。