ウェーハをきれいに保つために：IRランプの故障に関する真実
大量生産の工場では、ランプが壊れるというのは単なる悩み事以上の問題です。それはまさに苦悩そのものです。
もし赤外線ランプがシリコンウェーハの真上で壊れてしまったら、単に生産が止まるだけではありません。ガラスの破片や化学物質が製品に降り注ぎます。これは二次的な汚染であり、大変な問題です。私たちは、このような状況を防ぐために特別に金反射材を使用したIRランプを開発しました。
なぜ金が重要なのか
多くの人々はアルミニウム反射材を使用していますが、それではエネルギーを過度に吸収してしまいます。そこで私たちは高純度の金コーティングを採用しました。
これにより、IR放射線をより効率的に前方に送り出すことができます。熱密度が高いため、より低い内部温度でも同じ効果が得られます。これは一石二鳥です。クォーツのケースも負担が少なくなり、激しい稼働時にも曲がったり割れたりする可能性が大幅に低下します。
「爆発」を防ぐ
急速な電力の切り替えによる衝撃に耐えるために、厚壁の融解クォーツを使用しています。しかし、それだけでは不十分です。
私たちは保護用のケースも追加しました。これは安全網のようなものです。内側のランプが壊れても、このケースがすべての破片を受け止めてくれます。ウェーハにガラスの破片が付着することはありません。
また、エンドキャップも重要です。もし密封部分に漏れがあると、酸素がハロゲン循環系に入ってしまい、「黒化」が起こり、最終的にはランプが破裂してしまいます。これを防ぐため、すべての密封部分を真空テストし、ハロゲンガスが正しい場所に留まるようにしています。
注意点
高出力のランプは非常に高温になります。金反射材によってその熱エネルギーが狭い範囲に集中されるため、冷却システムには十分注意が必要です。空気の流れが悪くなると、ソケット部分に熱が溜まり、配線が損傷する可能性があります。それによって放電が起こり、誰もそれを望みません。冷却をしっかり行えば、これらのランプは長持ちします。