もう、壊れたランプがウェーハを台無しにするのを放っておかないでください。
大量生産を行う工場では、ランプが壊れるというのは単なる面倒な停止時間以上の問題です。それはまさに悪夢です。
石英製のケースが割れると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。一度壊れてしまうと、作ったウェーハ全てが廃棄処分になってしまいます。これは何度も起こってきたことなので、私たちはIRランプを特別に設計して、このようなトラブルを防いでいます。
破片を適切な場所に留める
私たちは高純度の合成石英を使用します。これにより、急激な加熱・冷却による衝撃にも耐えられます。しかし、それだけでは不十分です。
フィラメントが壊れても全体が崩壊しないように、保護用のカバーや特殊なコーティングを施します。これはまさに安全網のようなものです。何か問題が起きても、破片はケースの中に留まります。そうすれば、ウェーハはきれいな状態のまま残ります。
熱に対処する
問題は、ランプを最大出力で動かすと「ホットスポット」ができてしまうことです。そこでは石英が柔らかくなり、曲がってしまいます。これは大変な問題です。
私たちは、管全体の出力密度を均一にして、ストレスを軽減しています。でも、もし出力を上げようとするなら、冷却風の流れをしっかり確認してください。風がうまく流れないと、ケースが過熱し、やがて壊れてしまいます。
接続部の問題
多くの場合、ランプの爆発は端子部分から始まります。アークが発生し、熱が蓄積され、石英が亀裂を起こします。これは典型的な故障です。
私たちは、精密に調整されたコネクタを使用してこの問題を解決しました。これにより、しっかりとした電気的接触が実現し、過熱することもありません。シンプルですが、システムの最大のリスクの一つを排除できます。
確かに、保護用のハードウェアは少しスペースを取ります。でも、実際には、汚染されたウェーハを処分したり、洗浄装置を使うコストと比べれば、それは些細な代償です。これにより、再びウェーハの製造を続けることができます。