無駄な熱の浪費をやめよう：アルミニウム反射板の利点 IRランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。まるで、光がどこに向かっているのかわからない電球のようです。 半導体装置においては、これは大きな問題です。そのエネルギーを適切に制御しなければ、大部分のエネルギーが装置の壁に当たってしま...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために もしクラス100の環境で作業を行っているなら、わずかな微粒子が一度でも製品を台無しにしてしまうという問題をご存知でしょう。一般的なIRランプは、このような状況では逆に問題を引き起こします。そうしたランプにはエンドキャップやシールがあり、そこ...

もう、壊れたランプがウェーハを台無しにするのを放っておかないでください。 大量生産を行う工場では、ランプが壊れるというのは単なる面倒な停止時間以上の問題です。それはまさに悪夢です。 石英製のケースが割れると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。一度壊れてしまうと、作...