ウェーハの汚染を未然に防ぐ：硬化ランプをより効果的に扱う方法
正直に言って、高負荷でウェーハを処理している最中に石英管が破裂すると、それは大変な問題です。単に生産停止になるだけでなく、シリコン表面にガラスの破片やハロゲンガスが付着してしまいます。これは非常に面倒で、コストもかかり、誰もが避けたい状況です。
私たちは、ランプの構造を見直すことで、このような問題を防ぐ方法を考え出しました。つまり、物理的な遮蔽装置や高反射率のケースを設計に組み込んだのです。
秘密はその遮蔽装置にあります。
多くの人は、反射器はIR放射線をウェーハに戻すためのものだと思っています。確かにそうですが、私たちは金メッキされた素材や高純度のアルミニウムを使って、ケース自体を封じ込める容器にしています。
もし管が圧力によって破損したり燃え尽きたりした場合、反射器が破片を受け止めてくれます。そうすれば、破片がウェーハに降り注ぐのを防げます。これは簡単な解決策ですが、大惨事を避けるのに役立ちます。
より多くの熱を得つつ、ストレスを減らす。
私たちは、反射器を調整して、必要な場所に正確に熱を送るようにしました。ビームを狭めることで、電圧を上げることなく、より高い熱密度を得ることができます。
最良な点は、管壁にかかるストレスが少なくなることです。そのため、フィラメントの寿命も長くなります。ただし注意すべき点が1つあります。外側のケースが非常に熱くなります。もし空気の流れが妨げられると、時間が経つにつれて取り付けブラケットが歪んでしまいます。ですから、換気には十分注意しましょう。
クリーンルーム向けに設計されています。
誰も、狭い場所のほこりを掃除するのは好きではありません。そのため、私たちは反射器を滑らかで曲面のある形状にしました。ほこりが隠れる隙間がないのです。拭き取りも簡単で、生産中に炭化した粒子が剥がれ落ちる心配もありません。
これらをラインに接続する際は、0.5mm以内に正しく位置づけるようにしてください。もし位置がずれていると、ウェーハに熱が集中し、均一に硬化しなくなります。正しく位置づければ、潜在的な災害を単なる簡単なメンテナンス作業に変えることができます。