Op de productieafdeling is een afwijking van 0,3°C tijdens het verhitten van de fotoresist geen ‘kleine fout’. Het gaat om een verlies aan productiekwaliteit, simpel gezegd. De temperaturen voor het zachte en harde verhitten bepalen de vereiste toleranties voor de afmetingen van de chip. Wanneer de thermische uniformiteit op de chip niet meer gewaarborgd is, neemt ook de selectiviteit bij het eten van de fotoresist af. Het verbeteren van de verwarming in de schone ruimte is geen cosmetische maatregel – het gaat om procescontrole.
We hebben het systeem ontworpen met behulp van kwartsverwarming die wordt aangestuurd door NIR-technologie, in combinatie met een gesloten controlecyclus. Hierdoor wordt een uniformiteit van ±0,1°C op het niveau van de chip bereikt. Het systeem behoudt deze consistentie tijdens zowel het zachte als het harde verhitten, zodat de hoeveelheid fotoresist, de resterende oplosmiddelen en de dichtheid van de kruisverbindingen binnen de gevraagde parameters blijven.
Het systeem is geschikt voor schone ruimtes van klasse 1–100. Het maakt gebruik van materialen met weinig deeltjes, en er is een ventilatiesysteem dat de hoeveelheid deeltjes tijdens het verhittingproces beperkt. De betrouwbaarheid wordt gemeten aan de hand van de beschikbaarheid van het systeem: 24/7 gebruik, met geplande onderhoudsintervallen, zonder onverwachte stilstand.
Waarom werkt dit in de praktijk? Een betere controle tijdens het verhitten zorgt voor een betere verdeling van de afmetingen van de chip en minder herwerkzaamheden. Hierdoor wordt de kwaliteit van de lithografie en het eten van de fotoresist verbeterd, omdat het proces zich niet meer tegen zichzelf keert.
En wat betreft de energieverbruik? De heaters bereiken snel de gewenste temperatuur, houden deze vast en verminderen daarmee het energieverbruik per batch. Dat betekent minder afwijkingen, kortere verwerkingstijden en minder afval – zonder dat er iets verandert aan de chemische samenstelling of de configuratie van het systeem.
Wat moet je tijdens de installatie in de gaten houden? Zorg ervoor dat de afmetingen van de kamer, de ventilatie en de stroomvoorziening overeenkomen met die van je bestaande apparatuur. Controleer ook de spanning en de connectoren. Het systeem kan worden geïntegreerd in standaard productieomgevingen, maar er is wel een stabiele stroomvoorziening nodig om de temperatuurstabiliteit te garanderen.
Er zal een korte testperiode nodig zijn om de instellingen van het systeem af te stemmen op je specifieke fotoresistconfiguratie. Na een paar aanpassingen kan het systeem direct in gebruik worden genomen.