
Houd je wafers schoon: de waarheid over storingen bij infraroodlampen
In een fabriek met hoge productiecapaciteit betekent een gebroken lamp meer dan alleen ergernis. Het is een nachtmerrie. Als een infraroodbuis precies boven een siliciumwafer kapotgaat, moet je niet alleen rekening houden met stilstand van de productie, maar ook met glasscherven en chemische stoffen die op je producten terechtkomen. Dat veroorzaakt secundaire contaminatie, en dat is een ramp. We hebben onze IR-lampen met goudreflectoren ontworpen om dit te voorkomen.
Waarom goud belangrijk is
De meeste mensen gebruiken aluminiumreflectoren, maar die nemen te veel energie op. Wij kozen voor een laag van hoogzuiver goud. Dit zorgt er namelijk voor dat het infraroodlicht efficiënter wordt afgegeven. Omdat de warmtedichtheid hoger is, kunnen de lampen op een lagere temperatuur worden gevoerd, terwijl hetzelfde resultaat wordt behaald. Het is dus een win-win-situatie: de kwartskern wordt minder onder druk gezet, waardoor deze minder kans heeft om te buigen of te barsten.
Het voorkomen van storingen
We gebruiken kwarts met dikke wanden om de schokken veroorzaakt door snelle schakelingen op te vangen. Maar dat was nog niet alles. We hebben ook een beschermend omhulsel toegevoegd. Stel je dit voor als een veiligheidsnet. Als de binnenste gloeilamp kapotgaat, vangt het omhulsel al het puin op. Geen glasdeeltjes op je wafers. Punt.
Er zijn ook eindkappen nodig. Als het seal lekt, komt zuurstof in de halogencirkel terecht. Dit leidt tot schade aan de lamp. Om dit te voorkomen, controleren we elk seal op vacuüm om er zeker van te zijn dat het halogengas op de juiste plek blijft.
Een waarschuwing
Lampen met hoge vermogens worden ontzettend heet. Omdat de goudreflector al die warmte in een klein gebied concentreert, moet je goed opletten op de koelsystemen. Als de luchtstroom niet goed werkt, zal de hitte zich ophopen en kan dit schade toebrengen aan de verbindingen tussen de onderdelen. Dit kan leiden tot kortsluiting, en dat wil niemand. Houd de koeling stabiel, dan zullen deze lampen lang meegaan.