Trong quá trình xử lý wafer, những biến đổi về nhiệt độ xảy ra trong giai đoạn kiểm tra chất lượng wafer và quá trình sấy phim quang học thường không được báo hiệu trước. Những biến đổi này thể hiện dưới dạng sự thay đổi chiều rộng của các đường kẻ trên wafer, độ bám kém giữa các lớp vật liệu trên wafer, cũng như tỷ lệ wafer bị lỗi – những vấn đề này chỉ được phát hiện sau đó, trong quá trình kiểm tra điện tử. Chúng tôi đã chế tạo những bóng đèn sưởi IR để ngăn chặn những biến đổi này ngay từ đầu.
Những yếu tố quan trọng Hệ thống này sử dụng nguồn ánh sáng IR tần số cao, kết hợp với lớp vỏ bằng thạch anh có khả năng phản ứng nhanh, giúp truyền nhiệt vào wafer một cách nhanh chóng mà không cần tiếp xúc trực tiếp. Mức độ đồng đều của nhiệt độ trong khu vực xử lý wafer vào khoảng ±0,1°C; độ lặp lại của nhiệt độ giữa các lần xử lý là khoảng 0,2°C. Quá trình sấy mềm và sấy cứng diễn ra trong điều kiện kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ, giúp các chất hòa tan được loại bỏ hoàn toàn mà không gây ra hiện tượng liên kết giữa các phân tử.
Chúng tôi hỗ trợ các phòng sạch cấp độ 1–100 bằng cách sử dụng thiết kế có khả năng kiểm soát số lượng hạt bụi: vỏ bóng đèn được đóng kín, khí thải được kiểm soát chặt chẽ, và các bề mặt nóng được bảo vệ, nhờ đó số lượng hạt bụi duy trì ở mức ổn định.
Lý do tại sao hệ thống này hoạt động hiệu quả trong thực tế Trong quá trình kiểm tra chất lượng wafer, bóng đèn giúp tăng tốc độ tăng nhiệt độ, từ đó rút ngắn thời gian xử lý mà không gây áp lực lên các kết nối giữa các thành phần trên wafer. Trong quá trình in ấn, cùng mật độ năng lượng này giúp đảm bảo quá trình sấy mềm và sấy cứng diễn ra ổn định, từ đó giúp ổn định kích thước wafer và loại bỏ các vết bẩn trên bề mặt wafer.
Bạn có thể sử dụng hệ thống này 24/7 với các khung thời gian bảo trì dễ dự đoán. Ngoài ra, hệ thống này còn giúp tiết kiệm năng lượng vì nguồn nhiệt được truyền trực tiếp vào wafer, chứ không phải vào toàn bộ buồng xử lý. Thời gian xử lý wafer được rút ngắn, tỷ lệ wafer bị lỗi giảm xuống, và chu kỳ xử lý trở nên nhanh hơn.
Chi tiết kỹ thuật Ánh sáng từ bóng đèn IR tỏa theo đường thẳng, vì vậy bạn cần điều chỉnh góc đặt wafer và tốc độ di chuyển của nó sao cho phù hợp với hình dạng chùm sáng. Quá trình calibrat hệ thống chỉ mất một khoảng thời gian ngắn.
Bóng đèn này hoạt động tốt với các giao diện chuẩn của SEMI. Tuy nhiên, việc lắp đặt nó vào các hệ thống cũ có thể đòi hỏi phải điều chỉnh lại khu vực xử lý nhiệt và các thông số liên quan. Hãy lên kế hoạch cho dòng khí trong phòng sạch, đồng thời đảm bảo rằng hệ thống thu khí có thể xử lý được lượng khí thải trong quá trình xử lý.