Trong quy trình oxy hóa, độ ổn định của nhiệt độ không chỉ là yếu tố quan trọng mà còn là yếu tố then chốt trong toàn bộ quy trình. Chỉ cần nhiệt độ thay đổi 1°C thôi, độ dày lớp oxit cũng sẽ thay đổi theo, và điều này đủ để khiến các linh kiện không đạt tiêu chuẩn mong muốn, khiến cho hàng giờ lao động bị lãng phí. Chúng tôi thiết kế những bộ phận gia nhiệt này nhằm loại bỏ sự không chắc chắn này.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Bạn có thể đạt được độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C, giúp duy trì độ ổn định của quy trình sản xuất. Vật liệu thủy tinh được gia cố bằng sợi carbon giúp việc nâng nhiệt diễn ra nhanh chóng và ổn định. Thiết kế giảm khí thải giúp ngăn chặn sự hình thành các hạt bụi. Điều này giúp thiết bị hoạt động tốt trong môi trường phòng sạch từ cấp độ 1 đến 100, đồng thời giúp giảm số lần dừng máy do sự cố.
Lý do tại sao chúng hoạt động tốt trong thực tế là vì trong các lò oxy hóa, bộ phận gia nhiệt đóng vai trò quan trọng trong việc đặt ra mức nhiệt cơ sở cho từng tấm wafer được xử lý. Độ đồng đều cao hơn giúp quá trình xử lý wafer diễn ra ổn định hơn, kiểm soát được sự biến đổi về chiều rộng của các đường trên wafer, và giúp tăng tỷ lệ sản phẩm đạt tiêu chuẩn. Ngoài ra, việc sử dụng bộ phận gia nhiệt này còn giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng và kéo dài tuổi thọ của bộ phận này – điều này giúp giảm chi phí sản xuất mỗi tấm wafer và thuận tiện hơn trong việc lập kế hoạch thay thế linh kiện.
Một vài lưu ý thực tế: Những bộ phận gia nhiệt này được thiết kế dành cho các điều kiện nhiệt độ cụ thể và các giới hạn lắp đặt nhất định. Việc đảm bảo sự tương thích giữa các bộ phận gia nhiệt với bộ phận lắp đặt trong lò là điều cực kỳ quan trọng. Hãy lên kế hoạch lắp đặt kèm theo việc kiểm tra nhiệt độ sau khi lắp đặt; việc này sẽ giúp đảm bảo quy trình sản xuất diễn ra ổn định và dễ dàng trong việc bảo trì.