保持晶圆清洁：关于红外灯故障的真相
在高产量的生产环境中，如果红外灯发生故障，那可不仅仅是麻烦事，简直就是一场灾难。如果红外灯在硅晶圆上方爆炸，那么不仅会导致生产中断，还会让玻璃碎片和化学物质溅到晶圆上。这无疑属于二次污染，后果不堪设想。我们特意设计了带有金反射层的红外灯，就是为了避免这种情况的发生。
为什么金反射层如此重要？
大多数人使用铝制反射层，但铝会吸收过多的能量。因此，我们选择了高纯度的金涂层作为反射层。这样做的好处是：它能更高效地将红外辐射向前传递。由于热量密度较高，因此可以在较低的温度下运行，依然能达到相同的加热效果。这样一来，石英外壳不会承受过大的压力，从而降低其破裂的风险。
防止灯泡爆炸
我们使用厚壁熔融石英来承受快速开关时的冲击力。不过，我们并没有就此止步。我们还为灯泡添加了保护外壳，相当于一个“安全网”。一旦内部灯泡发生损坏，这个外壳就能挡住所有的碎片，确保晶圆上不会留下任何玻璃屑。此外，我们还对各个密封处进行真空测试，确保卤素气体不会泄漏出来。
温馨提示
高功率的红外灯会产生极高的温度。由于金反射层会将所有热能集中在一个小范围内，因此必须注意冷却系统的性能。如果气流不足，热量就会在插座处积聚，进而损坏电线。那样就会导致电弧现象，这是大家所不愿意看到的。只要保持冷却系统正常运作，这些红外灯就能长期使用。