Úvod Představte si toto: provozujete vakuovou komoru s vysokým zatížením a jedna z malých topných lamel přestane fungovat. Celá linka se zastaví. A...

Na lince vyjíždí wafer ze spin coatéru a fotorezist musí být rychle vytvrzený – bez jakýchkoli horkých nebo studených míst. Odchylka o pár stupňů při...