Una forma mejor de secar las obleas MEMS
Seamos honestos: secar las obleas de sensores MEMS es un verdadero problema. Es necesario eliminar toda la humedad, pero no se puede dejar ningún residuo detrás, y definitivamente no se debe someter el material a fluctuaciones extremas de temperatura. Durante mucho tiempo, simplemente las colocábamos en hornos de convección, confiando en que todo saldría bien. Pero existe una forma mucho más eficiente de hacerlo.
Hemos pasado a utilizar calefacción por infrarrojos de onda corta. En lugar de calentar toda una habitación llena de aire solo para secar una pequeña oblea, los rayos infrarrojos actúan directamente sobre las moléculas de agua. Es un método más limpio, rápido y eficiente.
Velocidad y eficiencia
La diferencia en velocidad es enorme. Se trata de reducir los tiempos de secado de minutos a segundos. Dado que el flujo de calor es muy concentrado, llega directamente a la superficie de la oblea y comienza a actuar de inmediato.
Además, su factura de electricidad también se verá beneficiada. No desperdicia kilovatios calentando espacios vacíos. Si su planta busca obtener certificaciones ecológicas o intenta alcanzar objetivos de neutralidad de carbono, esto es una de las soluciones más sencillas.
Los componentes utilizados
Construimos estos calentadores utilizando envolturas de cuarzo de alta pureza. ¿Por qué? Porque pueden soportar los cambios bruscos de temperatura sin agrietarse. También recubrimos las lámparas para ajustar el espectro de emisión. Esto asegura que el calor afecte a la oblea en la longitud de onda adecuada para eliminar el agua.
La instalación es bastante sencilla. Puede conectarse a su sistema existente usando conectores industriales estándar.
Pero hay algo importante que tener en cuenta: estas lámparas generan mucho calor. Es necesario asegurarse de que su sistema de refrigeración pueda manejar esa cantidad de calor. Si sus intercambiadores de calor no son capaces de eliminar ese calor de los componentes electrónicos, estos se dañarán.
Qué cambia realmente
Una vez que haga este cambio, podrá prescindir de那些 enormes unidades de tratamiento de aire y de los sopladores ruidosos y de alta presión. Así, ganará espacio y reducirá su consumo energético.
Sin embargo, hay una condición: la distancia importa. Si la lámpara está demasiado cerca de la oblea, se crearán puntos calientes, lo cual puede causar problemas. Para solucionarlo, sugerimos usar un controlador PID de bucle cerrado. Este mantiene la temperatura superficial estable dentro de un rango de $\pm 2^\circ\text{C}$, así podrá estar tranquilo sabiendo que sus obleas están seguras.