متوقف کنید این فاجعه را: نگه داشتن ویفرهای شما در حالت تمیز، حتی زمانی که هیترها از کار میافتند!
اگر تا به حال در اتاقهای تمیز ساخت قطعات نیمههادی کار کردهاید، میدانید که چه اتفاقی میافتد. لامپهای مادون قرمز ناگهان خراب میشوند و تکههای شیشه و فیلامنتهای تنگستن روی ویفرها میافتند. این واقعاً یک فاجعه است؛ آلودگی فوری، ویفرها نیز از کار میافتند.
همه ما چنین تجربهای داشتهایم؛ به همین دلیل، هیترهای مورد استفاده ما طوری طراحی شدهاند که بتوانند با شرایط سخت تولید کنار بیایند و از وقوع چنین فاجعههایی جلوگیری کنند.
مقابله با خرابی لامپها
ما فقط امیدوار نیستیم که لامپها دوام بیاورند؛ این روشی پرخطر است. در عوض، ما عناصر مادون قرمز را درون قابهای محکم یا لولههای کوارتز با خلوص بالا قرار میدهیم. اگر لامپ به دلیل شوک حرارتی یا رسیدن به حد استفاده، خراب شود، این قابها تمام تکههای شیشه را در خود نگه میدارند؛ بنابراین ویفرها تمیز باقی میمانند. این کار، یک فاجعه احتمالی را به یک خرابی کوچک و قابل کنترل تبدیل میکند.
دلایل عدم خرابی لامپها
ما از نوع خاصی از شیشه کوارتز استفاده میکنیم؛ این شیشه در برابر تغییرات ناگهانی دما مقاوم است. ضریب انبساط حرارتی آن پایین است؛ یعنی وقتی دما افزایش یا کاهش مییابد، این شیشه خراب نمیشود.
همچنین، ما زمان زیادی را صرف تنظیم محل قرارگیری عناصر گرمایشی میکنیم؛ اگر عناصر گرمایشی کمی از محل خود منحرف شوند، نقاط داغی روی دیواره لوله ایجاد میشود؛ این امر باعث تضعیف شیشه میشود. با تنظیم میزان توان گرمایشی، شیشه در محدوده ایمنی قرار میگیرد و میتواند کار خود را بدون آسیب انجام دهد.
ساده نگه داشتن امور
وقتی لامپ خراب میشود، نمیخواهیم نیمی از وقت کاری خود را صرف تعمیر آن کنیم. ما از کانکتورهای استاندارد استفاده میکنیم؛ بنابراین میتوانیم لامپ خراب را برداریم و لامپ جدیدی جایگزین آن کنیم. نیازی به تنظیمات پیچیدهای نیست؛ کار بسیار سریع انجام میشود.
البته، لامپهای با توان بالا، گرمای زیادی تولید میکنند؛ اگر این گرما وارد ساختار هیتر شود، ممکن است ریلها تحت تأثیر قرار بگیرند. در این صورت، موقعیت قرارگیری ویفرها مختل خواهد شد.
مطمئن شوید که فنهای خنککننده یا سیستمهای خنککننده شما مناسب باشند. ما تمام اطلاعات مربوط به تولید گرما را در اختیار شما قرار میدهیم تا بتوانید سیستم خنککننده مناسبی برای تجهیزات خود انتخاب کنید.