دیگر نگران آلودگی ویفرها نباشید!
در کارخانههای تولید نیمههادی، خرابی لامپها یک فاجعه بزرگ است؛ این مشکل فقط مربوط به توقف فعالیت دستگاهها نیست، بلکه باعث ایجاد آلودگی در ویفرها نیز میشود. وقتی لوله کوارتز در حین کار با بار بالا منفجر میشود، ذرات مختلفی در همه جا پخش میشوند و ویفرها را آلوده میکنند.
ما خودمان این تجربه را داشتهایم؛ به همین دلیل لامپهای دو لولهای با پوشش طلا را طراحی کردهایم.
راز این روش، در طراحی آن نهفته است.
در اکثر لامپها، تمام فشار حرارتی در یک نقطه تمرکز میشود؛ اما ما عنصر گرمایشی را بین دو لوله تقسیم کردهایم. با این کار، فشار حرارتی در هیچ نقطهای از لوله کوارتز افزایش نمییابد.
شما همچنان همان میزان وات را دریافت میکنید، اما به دلیل وجود سطح بزرگتر، شیشه لامپ سردتر باقی میماند. این امر به این معناست که میتوانید توان لامپ را افزایش دهید، بدون اینکه نگران خرابی لوله باشید.
پوشش طلا نیز نقش مهمی دارد.
پوشش طلا مانند یک آینه عمل میکند و تابش مادون قرمز را مستقیماً به سمت ویفر هدایت میکند. به دلیل بازتاب بسیار خوب، نیازی نیست توان لامپ را بیش از حد افزایش دهید تا دمای مورد نظر را برسانید.
کارکرد لامپها در دمای پایین، دو اثر مثبت دارد: اولاً، فیلامنتها مدت زمان بیشتری دوام میآورند؛ ثانیاً، خطر خرابی لوله کاهش مییابد.
حفظ تمیزی دستگاهها نیز مهم است.
لامپهای ارزانقیمت معمولاً دچار فرسودگی میشوند؛ ما از روش رسوباتزدایی تحت فشار خلأ برای پوشش طلا استفاده میکنیم تا پوشش طلا حتی در شرایط دمای بالا نیز در جای خود باقی بماند. و اگر اتفاق بدی رخ داد و لوله خراب شد، سیستم دو لولهای باعث میشود محدوده آسیب کوچک باقی بماند؛ بنابراین نیازی نیست مدتها برای تمیز کردن ذرات آسیبدیده وقت صرف کنید.
یک نکته مهم در مورد نصب لامپها:
فنهای خنککننده لامپها را بررسی کنید؛ مطمئن شوید که ظرفیت آنها برای توان لامپها مناسب است. اگر جریان هوا ضعیف باشد، گرما در داخل لامپ تجمع میکند و تمام مزایای طراحی دو لولهای از بین میرود.
همچنین، راههای تهویه را باز نگه دارید؛ و البته، از منبع تغذیه پایدار استفاده کنید. نوسانات ولتاژ، سریعترین راه برای خرابی فیلامنتهاست.