روش بهتری برای خشک کردن ویفرهای MEMS
بیایید صادق باشیم: خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS کار دشواری است. لازم است که رطوبت از روی آنها حذف شود، اما نمیتوان هیچ باقیماندهای روی آنها رها کرد؛ همچنین نباید ماده مورد استفاده تحت فشار ناشی از تغییرات شدید دما قرار گیرد. برای مدت طولانی، از فرهای معمولی برای خشک کردن این ویفرها استفاده میشد، اما روشی هوشمندانهتر وجود دارد.
ما از روش گرمایش با موجهای مادون قرمز کوتاه استفاده میکنیم. در این روش، به جای گرم کردن کل محفظه هوا برای خشک کردن یک ویفر کوچک، انرژی مستقیماً به مولکولهای آب اختصاص مییابد. این روش تمیزتر، سریعتر و کارآمدتر است.
سرعت و کارایی
تفاوت سرعت در این روش چشمگیر است؛ زمان لازم برای خشک کردن ویفرها از دقایق به ثوانی کاهش مییابد. از آنجایی که انرژی گرمایی بسیار متمرکز است، به سرعت به سطح ویفر میرسد و کار خشک کردن را آغاز میکند.
علاوه بر این، هزینه برق نیز کاهش مییابد؛ چون دیگر نیازی نیست انرژی زیادی برای گرم کردن فضای خالی صرف شود. اگر کارخانه شما در تلاش برای کسب گواهینامههای زیستمحیطی یا رسیدن به اهداف کاهش انتشار کربن است، این روش یکی از بهترین راهها برای دستیابی به این اهداف است.
تجهیزات مورد استفاده
ما از غلافهای کوارتز با خلوص بالا برای ساخت این گرمکنها استفاده میکنیم؛ چون این غلافها میتوانند در برابر تغییرات شدید دما مقاومت کنند. همچنین، لامپها نیز با روکشهای خاصی پوشانده شدهاند تا طیف تابش آنها تنظیم شود. این کار باعث میشود که گرما در طول موج مناسبی به سطح ویفر برسد و آب از روی آن حذف شود.
نصب این گرمکنها بسیار ساده است؛ میتوان آنها را با استفاده از کانکتورهای صنعتی معمولی به سیستم موجود متصل کرد.
اما یک نکته مهم وجود دارد: فاصله بین لامپ و ویفر اهمیت زیادی دارد؛ اگر لامپ خیلی نزدیک به ویفر باشد، مناطق گرمی ایجاد میشود که میتواند باعث خسارت به ویفر شود. برای جلوگیری از این مشکل، پیشنهاد میشود از کنترلکننده PID استفاده شود؛ این کنترلکننده، دمای سطح ویفر را در محدوده ±۲ درجه سانتیگراد حفظ میکند، تا بتوانید با خیال راحت بخوابید.