در فرآیند خشک کردن ویفرها، حتی وجود یک نشانه آبی پس از شستشو میتواند باعث اختلال در کل محموله تولید شود. روشهای معمول خشک کردن، باعث ایجاد تفاوتهای دمایی در سطح ویفر میشود؛ این تفاوتها در نهایت منجر به عدم یکنواختی ضخامت لایه فوتورزیست میشوند. ما برای حذف این تفاوتها، از هیترهای مادون قرمز برای خشک کردن ویفرها استفاده کردهایم.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟
ما از انتشارکنندههای مادون قرمز با عناصر کوارتزی با پاسخگویی سریع استفاده میکنیم؛ به این ترتیب، جریان حرارتی در سطح ویفر یکنواخت خواهد بود، حتی در سطح زیر میلیمتری. این امر منجر به یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد میشود؛ همچنین، این یکنواختی در تمام شیفتها، محمولهها و تغییرات ابزارها حفظ میشود.
دمای خروجی، از ۱۰۰ درجه سانتیگراد تا ۳۰۰ درجه سانتیگراد، با کنترل دقیق حفظ میشود؛ بنابراین، فرآیندهای خشک کردن ویفرها به درستی انجام خواهد شد. این هیترها برای اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ مناسب هستند؛ چرا که از موادی با انتشار گاز کم استفاده میشود، هیچ ذرهای تولید نمیشود، و سطوح آنها قابل تمیز کردن بدون آلوده کردن محیط اتاق پاکسازی هستند.
چرا این روش در عمل مؤثر است؟
در فرآیندهای خشک کردن ویفرها و پردازش فوتورزیست، یکنواختی دمایی تفاوت بین محصولات با کیفیت و محصولات بیکیفیت را مشخص میکند. داشتن الگوهای دمایی یکنواخت، باعث کاهش نویزهای دمایی و بهبود کنترل کیفیت محصولات میشود.
سرعت بالای گرم شدن، زمان فرآیند را کاهش میدهد، بدون اینکه باعث اختلال در بودجه حرارتی شود؛ همچنین، داشتن نقطه تنظیم پایدار، باعث کاهش کارهای تکراری میشود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا انتشارکنندهها تنها سطح مورد نظر را گرم میکنند، نه کل فضای اتاق پاکسازی. قابلیت اطمینان این سیستم نیز بالاست؛ چرا که این دستگاهها میتوانند ۲۴ ساعته کار کنند، با فواصل تعمیرات پیشبینیشده، و بدون توقفات غیرمنتظره.
جزئیات عملی:
برای نصب این دستگاه، باید به تطبیق نوری و درصد انتشار حرارتی سطوح توجه کرد؛ اگر سطوح با یکدیگر مطابقت نداشته باشند، نقشه دمایی نیز دقیق نخواهد بود. این سیستم به هوای تمیز و خشک و منبع ولتاژ پایدار نیاز دارد تا کنترلهای لازم انجام شود. باید یک آزمایش کوتاه انجام داد تا پارامترهای PID تنظیم شوند و منطقه گرمایی متناسب با اندازه ویفر و فرآیند تولید تعیین شود. پس از تنظیم، این هیترها با انحرافات بسیار کم کار خواهند کرد؛ با این حال، پس از هر تغییر در شرایط اتاق پاکسازی، باید دوباره بررسی شود؛ این کار بخشی از رویههای استاندارد تولید است.