خشک کردن ویفرها بدون ایجاد پسماند
باید صادق باشیم: فرهای معمولی نوع همرفتی، برای کارخانههای تولید تراشههای مدرن، واقعاً مشکلساز هستند. این فرها حجم زیادی از انرژی را مصرف میکنند و همچنین با استانداردهای زیستمحیطی مورد نیاز سازگار نیستند.
به همین دلیل، از لامپهای مادون قرمز برای مرحله شستشو استفاده میکنیم. به جای گرم کردن حجم زیادی از هوا – که در واقع هدر دادن انرژی است – این لامپها مستقیماً روی مایعات تأثیر میگذارند. این روش، روشی هوشمندانهتر برای خشک کردن ویفرهاست.
نحوه کارکرد آنها
فکر کنید: هوای گرم، سرعت کمی دارد؛ اما تشعشعات مادون قرمز متفاوت هستند. این تشعشعات از امواج الکترومغناطیسی استفاده میکنند تا مولکولهای آب را در مایعات موجود روی ویفرها به لرزه درآورند و آنها را تقریباً بلافاصله از بین ببرند.
از آنجایی که این لامپها در محیطی با رطوبت بالا قرار دارند، نمیتوانیم از لامپهای عادی استفاده کنیم. ما از پوششهای کوارتزی بسته و اتصالات مقاوم در برابر رطوبت استفاده میکنیم. در غیر این صورت، فیلامنتهای لامپها در عرض چند روز اکسید شده و خراب میشوند. هیچ کس نمیخواهد هر هفته لامپها را تعویض کند.
محافظت از محیط زیست
اکثر سیستمهای خشک کردن سنتی، از سوختهای فسیلی یا سیستمهای بزرگ HVAC برای تأمین انرژی استفاده میکنند. اما لامپهای مادون قرمز، از برق برای کار کردن استفاده میکنند. اگر از شبکه برق تجدیدپذیر استفاده کنید، تأثیرات منفی کربنی کاهش خواهد یافت.
علاوه بر این، هیچ گونه مواد شیمیایی مضری در اطراف وجود ندارد؛ فقط انرژی تمیز، کار را انجام میدهد.
چالشها
البته، این سیستمها کاملاً ساده نیستند. لامپهای با شدت بالا، برای حفظ سرعت کار، عالی هستند؛ اما گرمای تولید شده توسط آنها بسیار زیاد است. اگر فاصله لامپ از ویفر خیلی کم باشد، ممکن است فشار حرارتی به سطح ویفر وارد شود.
بنابراین، باید فاصله لامپ را به درستی تنظیم کرد. کمی تنظیم، میتواند به جلوگیری از گرم شدن بیش از حد سیلیکون کمک کند.
صرفهجویی در فضا
بهترین نکته این است که این سیستمها فضای کمی را اشغال میکنند. شما میتوانید از همان قدرت خشک کردنی که یک تونل همرفتی بزرگ دارد، استفاده کنید؛ اما فضای کمتری لازم است.
این امر، فضای بیشتری در اتاقهای پاکسازی فراهم میکند و همچنین مشکلات کمتری در زمینه لولهکشی آب شستشو ایجاد میشود. این روش، راهحل سادهای برای مشکلات شیمیایی است.