בחדרי הייצור, סימן מים אחד לאחר הניקוי יכול לפגוע בכל המוצרים שנמצאים שם. תהליך הייבוש הרגיל יוצר הבדלי טמפרטורה על פני הוואפר, והבדלים אלו גורמים לחוסר אחידות בעובי הפוטורזיסט לאחר החימום. אנו ייצרנו גרמי חימום באינפראאדום שמאפשרים חימום אחיד של הוואפר, ובכך למנוע את הבדלי הטמפרטורה.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בגרמי חימום באינפראאדום עם רכיבי קוורץ בעלי תגובה מהירה, כך שהזרם התרמי על פני הוואפר יהיה אחיד, עד לרמה של פחות ממילימטר אחד. דבר זה מאפשר אחידות טמפרטורה של עד ±0.1°C, וכן חזרתיות בתהליך הייצור, לאורך שעות העבודה השונות ולאורך תהליכי הייצור השונים.
הטמפרטורה נשארת יציבה בין 100°C ל-300°C, בזכות שליטה קפדנית. כך, תהליכי החימום יתבצעו באופן מדויק לפי ההוראות. גרמי החימום מיועדים לחדרי ייצור מסוג Class 1–100: חומרים שאינם פולטים גזים, אין ייצור של חלקיקים, והמשטחים ניתנים לניקוי מבלי לזהם את החדר.
למה זה עובד בפועל? בתהליכי ייבוש הוואפר ועיבוד הפוטורזיסט, אחידות הטמפרטורה היא הגורם המכריע בין הצלחה לכישלון. פרופילי טמפרטורה אחידים מפחיתים את הבעיות הטמפרטוריות, משפרים את שליטה ברוחב הוואפר, ומפחיתים את כמות הבזבוז.
החימום המהיר מקצר את זמן התהליך, מבלי לפגוע בשליטה הטמפרטורית. השליטה היציבה מפחיתה את הצורך בעבודה חוזרת. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שגרמי החימום מחממים רק את האזור הרצוי, ולא את כל הוואפר. האמינות של המערכת נובעת מהזמן שהיא יכולה לעבוד – יש לנו מערכות שפועלות 24/7, עם 간격י תחזוקה צפויים, ללא זמני עצירה בלתי צפויים.
הפרטים הטכניים: יש להקפיד על אלינגומנטציה אופטית נכונה, ועל רמת האמידיות של החומרים שמשמשים לחימום. אם המשטחים אינם מתאימים, המפה הטמפרטורית תהיה לא מדויקת.
המערכת דורשת אוויר נקי ויבש, וכן אספקת מתח יציבה, כדי שהשליטה הטמפרטורית תהיה מדויקת. יש לבצע בדיקות ראשוניות כדי להתאים את המערכת לגודל הוואפר ולתהליך הייצור.
לאחר ההגדרה הראשונית, גרמי החימום יפעלו באופן יציב. עם זאת, יש לבדוק שוב את המערכת לאחר כל שינוי בחדר הייצור – זו פרקטיקה רגילה בייצור.