MEMS वेफरों को सुखाने का बेहतर तरीका ईमानदारी से कहें तो, MEMS सेंसर वेफरों को सुखाना बहुत ही कठिन काम है। इनमें मौजूद नमी को हटाना आवश्यक है, लेकिन...

फैब फ्लोर पर, वेफर अंतिम रिंस से बाहर आता है—और घड़ी चालू हो जाती है। अगर ड्रायिंग हीटर साथ नहीं दे पाता, तो फोटोरेसिस्ट के नीचे नमी फंसी रहती है, जो...