MEMS वेफरों को सुखाने का बेहतर तरीका
ईमानदारी से कहें तो, MEMS सेंसर वेफरों को सुखाना बहुत ही कठिन काम है। इनमें मौजूद नमी को हटाना आवश्यक है, लेकिन इसके साथ ही कोई अवशेष भी नहीं रहना चाहिए। साथ ही, तापमान में अचानक होने वाले बदलावों से भी सामग्री को नुकसान नहीं पहुँचना चाहिए। लंबे समय तक हम ऐसे वेफरों को साधारण ओवनों में ही सुखाते रहे। लेकिन इसका एक बेहतर तरीका है।
हमने शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड (IR) तकनीक का उपयोग शुरू कर दिया है। छोटे वेफरों को सुखाने हेतु पूरे कमरे को गर्म करने की आवश्यकता नहीं है; IR तकनीक सीधे ही पानी के अणुओं पर ही कार्य करती है। यह तरीका अधिक स्वच्छ, तेज़ एवं कुशल है।
गति एवं ऊर्जा खपत
गति में बहुत बड़ा अंतर है। मिनटों में होने वाले कार्य अब सेकंडों में ही हो जाते हैं। चूँकि ऊष्मा बहुत ही केंद्रित होती है, इसलिए यह तुरंत ही वेफर की सतह पर पहुँचकर कार्य करना शुरू कर देती है।
इसके अलावा, आपका बिजली बिल भी कम हो जाएगा। आप खाली जगहों को गर्म करने हेतु बिजली बर्बाद नहीं कर रहे हैं। यदि आपकी फैक्ट्री “ग्रीन” प्रमाणपत्र प्राप्त करना चाहती है, या कार्बन-तटस्थता के लक्ष्यों को पूरा करना चाहती है, तो यह एक बेहतरीन विकल्प है।
उपकरणों की विशेषताएँ
हम ऐसे हीटरों को उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज से बनाते हैं। क्यों? क्योंकि ऐसे हीटर तेज़ गर्मी/ठंडक के प्रभावों को सहन कर सकते हैं, बिना किसी नुकसान के। हम लैंपों पर विशेष प्रकार की परत भी लगाते हैं, ताकि ऊष्मा वेफर की सतह पर सही तरंगदैर्घ्य पर ही पहुँचे।
इन हीटरों को सेट करना बहुत ही आसान है। आप इन्हें मानक औद्योगिक कनेक्टरों के द्वारा अपनी वर्तमान सुविधाओं में ही जोड़ सकते हैं।
लेकिन ध्यान रखें – ये लैंप बहुत ही शक्तिशाली हैं। आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि आपकी शीतलन प्रणाली इस ऊष्मा को संभाल सके। यदि आपके हीट एक्सचेंजर इस ऊष्मा को संभाल नहीं पाएंगे, तो आपके उपकरणों को नुकसान पहुँच सकता है।
इससे क्या फर्क पड़ेगा?
जब आप इस तकनीक का उपयोग करेंगे, तो आपको बड़े-बड़े एयर-हैंडलिंग उपकरणों एवं जोरदार पंपों की आवश्यकता ही नहीं रहेगी। आपकी जगह भी बच जाएगी, एवं ऊर्जा खपत भी कम हो जाएगी।
लेकिन एक बात ध्यान रखें – लैंप वेफर से बहुत ही नजदीक होना चाहिए। यदि लैंप वेफर से बहुत ही नजदीक होगा, तो वेफर पर गर्म बिंदु बन जाएंगे, जिससे नुकसान हो सकता है। इस समस्या को दूर करने हेतु हम बंद-लूप PID कंट्रोलर का उपयोग करने की सलाह देते हैं। यह कंट्रोलर वेफर के सतह तापमान को $\pm 2^\circ\text{C}$ की सीमा में ही रखता है… इससे आपको चिंता करने की कोई आवश्यकता ही नहीं है।