Un modo migliore per asciugare i wafer MEMS
Se siamo onesti, asciugare i wafer dei sensori MEMS è davvero un problema. È necessario eliminare l’umidità, ma allo stesso tempo non si possono lasciare residui. Inoltre, non si deve assolutamente sottoporre il materiale a cicli di temperatura estremi. Per molto tempo abbiamo semplicemente utilizzato forni a convezione, sperando nel meglio. Ma esiste un metodo molto più efficace.
Abbiamo optato per il riscaldamento a onde infrarosse a breve lunghezza d’onda. Invece di riscaldare un’intera camera piena d’aria solo per asciugare un piccolo wafer, le onde infrarosse agiscono direttamente sulle molecole d’acqua. Questo metodo è più pulito, veloce ed efficace.
Velocità ed efficienza
La differenza nella velocità di asciugatura è notevole: i tempi di ciclo passano da minuti a secondi. Poiché il flusso di calore è molto concentrato, esso agisce immediatamente sulla superficie del wafer. Inoltre, il consumo energetico diminuisce notevolmente. Non si sprecano quindi kilowatt per riscaldare spazi vuoti. Se la vostra azienda cerca di ottenere certificazioni ambientali o di raggiungere obiettivi legati alla neutralità carbonica, questo è uno dei modi più semplici per farlo.
I componenti utilizzati
Creiamo questi riscaldatori utilizzando involucri in quarzo ad alta purezza. Perché? Perché riescono a resistere ai cambiamenti drastici di temperatura senza rompersi. Inoltre, le lampade vengono trattate per ottimizzare lo spettro di emissione del calore. In questo modo, il calore agisce sulla superficie del wafer alla lunghezza d’onda precisa necessaria per eliminare l’umidità.
L’installazione è piuttosto semplice: basta collegarli al sistema esistente utilizzando connettori industriali standard. Tuttavia, bisogna fare attenzione: queste lampade emettono molto calore. È quindi importante assicurarsi che il sistema di raffreddamento funzioni correttamente. Se i scambiatori di calore non riescono a dissipare il calore, i componenti potrebbero danneggiarsi.
Quali sono i vantaggi?
Una volta passati a questo sistema, potete eliminare quelle enormi unità di ventilazione e quei ventilatori rumorosi e ad alta pressione. Lo spazio disponibile diminuisce, mentre il consumo energetico diminuisce. C’è però un particolare da considerare: la distanza tra la lampada e il wafer è importante. Se la lampada è troppo vicina, si creeranno zone troppo calde, il che può causare problemi. Per risolvere questo problema, consigliamo l’uso di un controllore PID a circuito chiuso. Questo permette di mantenere la temperatura della superficie entro un range di ±2°C, così da essere sicuri che i wafer siano al sicuro.