IR半導体製造装置における適切な温度管理 もし本当に半導体製造工程での二酸化炭素排出量を減らしたいのであれば、エネルギーの無駄遣いをやめなければなりません。そのため、従来の抵抗式オーブンの代わりに赤外線ヒーターが使われています。その理由は簡単です。赤外線ヒーターは、熱を直接ウェハーに伝えるからです...

悪夢を止めよう：ヒーターが故障したときでもウェーハを清潔に保つ方法 半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、その状況をよく知っているでしょう。赤外線ランプが壊れると、突然、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。これはまさに大災害です。瞬時にウェーハが汚染され、廃...

スマートファブで適切な温度を実現するために もし、インダストリー4.0対応のスマートファブを構築しているのであれば、単純に空気を加熱するという古い方法ではもはや十分ではないことがわかっているはずです。より精密な制御が必要です。そのため、私たちの多くは高効率な赤外線装置を利用しています。これにより、...

安全を守るために：化学処理エリアでの赤外線ヒーターの使用 半導体の洗浄作業を行う場合、その危険性はよく分かっているでしょう。使われる溶剤は、火花が発生すると非常に危険です。赤外線ヒーターをその環境に設置すると、さらにリスクが高まります。わずかな電気的漏れや火花があれば、大惨事につながります。 通常...

製造現場では、焼成温度が0.5℃変動するだけで、ウェーハの寸法にナノメートル単位の誤差が生じ、製品の品質が基準を下回ってしまいます。ソフトベイクやハードベイクというのは単なる「加熱工程」に過ぎません。それらは、リソグラフィー工程全体の熱的条件を決定するものです。 内部で重要なのは何か 私たちは、金...