ウェーハツール用温度センサー

シャードの発生を防ぐ：ランプが故障した時でもウェーハを安全に守る方法 大量生産を行う工場では、ランプが故障することは大きな問題です。停止時間だけでなく、部品が散乱してしまうことも問題です。もし赤外線ランプがウェーハの真上で爆発すれば、至る所にガラスの破片や化学物質が散乱し、その結果、ウェーハが台無...