ในบริเวณพื้นที่ผลิต แม้จะมีรอยน้ำเพียงหนึ่งจุดหลังจากการทำความสะอาด ก็อาจส่งผลให้ผลิตภัณฑ์ทั้งชุดเสียหายได้ การอบแห้งแบบปกติจะก่อให้เกิดความแตกต่างของอุณหภูมิบนพื้นผิววงเวียน และความแตกต่างนี้จะส่งผลให้ความหนาของสารโฟโตรีซิสต์ไม่สม่ำเสมอหลังจากการอบแห้ง เราจึงออกแบบเครื่องอบแห้งด้วยแสงอินฟราเรดขึ้นมา เพื่อกำจัดความแปรปรวนเหล่านี้ตั้งแต่ต้น
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราใช้เครื่องปล่อยแสงอินฟราเรดคลื่นสั้นที่มีองค์ประกอบควอตซ์ที่ตอบสนองได้อย่างรวดเร็ว ทำให้กระแสความร้อนที่ไหลผ่านพื้นผิววงเวียนมีความสม่ำเสมอ ภายในระดับไม่เกินหลายส่วนในพันล้านของมิลลิเมตร ซึ่งช่วยให้อุณหภูมิของวงเวียนมีความสม่ำเสมออยู่ในช่วง ±0.1°C และมีความสามารถในการทำซ้ำได้อย่างสม่ำเสมอ ไม่ว่าจะเปลี่ยนชุดผลิตภัณฑ์หรือเปลี่ยนเครื่องมือก็ตาม
อุณหภูมิจะคงที่ในช่วง 100°C ถึง 300°C โดยมีการควบคุมแบบปิดที่แม่นยำ ทำให้กระบวนการอบแห้งเป็นไปตามขั้นตอนที่กำหนดไว้อย่างแม่นยำ เครื่องอบแห้งนี้ถูกออกแบบมาสำหรับห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยมีวัสดุที่ปล่อยก๊าซน้อยมาก ไม่มีการก่อตัวของอนุภาคใดๆ และพื้นผิวสามารถทำความสะอาดได้โดยไม่ทำให้ห้องสะอาดเสียหาย
เหตุใดจึงได้ผลจริง ในกระบวนการอบแห้งวงเวียนและการประมวลผลโฟโตรีซิสต์ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิเป็นสิ่งสำคัญมาก เพราะมันเป็นตัวกำหนดความแตกต่างระหว่างผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพดีกับผลิตภัณฑ์ที่เสียหาย การควบคุมอุณหภูมิที่ดีจะช่วยลดปัญหาเกี่ยวกับความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิ และช่วยลดปริมาณผลิตภัณฑ์ที่เสียหาย
การเพิ่มอุณหภูมิอย่างรวดเร็วจะช่วยลดเวลาในการผลิต โดยไม่ส่งผลกระทบต่ออุณหภูมิโดยรวม และการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำจะช่วยลดการต้องทำงานซ้ำ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะเครื่องปล่อยความร้อนจะทำหน้าที่ในการให้ความร้อนเฉพาะจุดเป้าหมายเท่านั้น ไม่ใช่ทั้งพื้นที่ ความน่าเชื่อถือของเครื่องอบแห้งนี้ขึ้นอยู่กับเวลาที่สามารถทำงานได้ต่อเนื่อง โดยมีช่วงเวลาการบำรุงรักษาที่แน่นอน และไม่มีเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด
รายละเอียดเกี่ยวกับการติดตั้ง การติดตั้งต้องให้ความสำคัญกับการจัดวางตำแหน่งของเครื่องปล่อยความร้อนและความสามารถในการปล่อยความร้อนของวงเวียน หากพื้นผิวไม่สม่ำเสมอ แผนภูมิอุณหภูมิก็จะผิดเพี้ยนไปด้วย
ระบบนี้จำเป็นต้องมีอากาศที่สะอาดและแห้ง รวมถึงแหล่งจ่ายไฟที่มั่นคง เพื่อให้การควบคุมอุณหภูมิมีความแม่นยำ ควรมีการทดสอบระบบเป็นเวลาสั้นๆ เพื่อปรับการควบคุม PID และกำหนดพื้นที่ที่มีอุณหภูมิสูงให้เหมาะสมกับขนาดของวงเวียนและกระบวนการผลิต
เมื่อตั้งค่าเสร็จแล้ว เครื่องอบแห้งจะทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ อย่างไรก็ตาม ควรมีการตรวจสอบอีกครั้งหลังจากมีการเปลี่ยนแปลงอะไรบางอย่างในห้องผลิต นั่นเป็นขั้นตอนมาตรฐานในการผลิต