Below you will find pages that utilize the taxonomy term “ความตึงเครียด” เครื่องวัดแรงตึงผิวของแผ่นเวเฟอร์พร้อมฮีตเตอร์ บนชั้นผลิต คุณรู้ดีว่ากระบวนการสามารถผิดพลาดได้เร็วแค่ไหน การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ 1°C ในการอบ photoresist แบบ soft bake จะทำให้ขนาด CD เปลี่ยนไป... Read more...
เครื่องวัดแรงตึงผิวของแผ่นเวเฟอร์พร้อมฮีตเตอร์ บนชั้นผลิต คุณรู้ดีว่ากระบวนการสามารถผิดพลาดได้เร็วแค่ไหน การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ 1°C ในการอบ photoresist แบบ soft bake จะทำให้ขนาด CD เปลี่ยนไป... Read more...