Giriş Bunu hayal edin: Yüksek yük altında çalışan bir vakum odası kullanıyorsunuz ve içindeki küçük bir ısıtma lambası arızalanıyor. Tüm süreç...

Hat üzerinde, bir wafer spin coater’dan çıkar ve foto direnç hızlıca, sıcak/soğuk nokta oluşmadan sabitlenmelidir. Soft bake veya hard bake sırasında...