На виробничій лінії коливання температури під час процедур нагрівання пластин та висушування фотополімеру не супроводжуються жодними попереджувальними сигналами. Вони проявляються у зміні ширини ліній на поверхні пластини, слабкому зчепленні матеріалів та зниженні якості продукції – що стає очевидним лише під час електричних випробувань. Ми створили свої лампи з інфрачервоним освітленням для того, щоб запобігти таким коливанням ще на початковому етапі.
Що є важливим у цій системі
Система базується на джерелах короткочастотного інфрачервоного випромінювання з швидкою реакцією, які швидко передають тепло на пластину без необхідності контакту. Очікується стабільна температура у межах ±0,1°C по всій зоні обробки, а точність повторюваності – до 0,2°C. Процеси м’якого та жорсткого нагрівання контролюються за допомогою точного регулювання температури, тож розчинники виводяться з поверхні пластини без утворення зморшок.
Ми підтримуємо роботу у чистих приміщеннях класу 1–100 завдяки конструкції з низьким вмістом частинок: корпус лампи є герметичним, відведення повітря ізолюється, а гарячі поверхні захищені, що дозволяє підтримувати постійний рівень частинок у повітрі.
Чому ця система ефективна на практиці
Під час процедури нагрівання лампа дозволяє швидко змінювати температуру, що скорочує час обробки без навантаження на елементи підключення. У процесі літографії така ж енергійність дозволяє забезпечити стабільні умови для м’якого та жорсткого нагрівання, що сприяє стабілізації параметрів поверхні пластини та усуненню дефектів.
Ви отримуєте надійну роботу 24/7 з можливістю планового технічного обслуговування. Крім того, енергія використовується ефективно, оскільки джерело нагріває саму пластину, а не всю камеру. Це дозволяє скоротити час обробки, зменшити кількість бракованої продукції та покращити загальну ефективність процесу.
Практичні деталі
Світло від лампи поширюється по прямій лінії, тож необхідно підлаштувати орієнтацію пластини та швидкість її руху відповідно до профілю променя. Для налаштування системи достатньо короткого часу роботи.
Лампа працює за стандартними інтерфейсами SEMI, але для її встановлення в існуючі установки може знадобитися корекція параметрів теплової зони та оновлення параметрів процесу. Обов’язково сплануйте маршрути потоку повітря в чистому приміщенні та переконайтеся, що система відведення повітря може впоратися з піковими навантаженнями під час процесу обробки.