Нагрівач для сушки пластини MEMS
На виробничому майданчику, пластина виходить із фінального ополіскування — і відлік часу починається. Якщо нагрівач для сушіння не справляється,...
Нагрівач для вимірювання поверхневого натягу пластини
На виробничому майданчику ви знаєте, як швидко процес може піти не за планом. Зсув у 1°C під час софт-бейку фоторезисту призведе до зміщення CD....