Вступ Уявіть собі наступну ситуацію: ви керуєте вакуумною камерою з високою навантаженням, і одна з невеликих ламп для нагріву ламається. Усі процеси...

На лінії вафер виходить з спін-котера, і фоточутливий матеріал потрібно встановити — швидко — без гарячих/холодних точок. Кілька градусів похибки під...