ویفرز کی آلودگی کو شروع ہونے سے پہلے ہی روکیں: کیورنگ لیمپس کو استعمال کرنے کا ایک بہتر طریقہ
ایمانداری سے کہیں تو، جب ہائی لوڈ والے حالات میں کوارٹز ٹیوب پھٹ جاتی ہے، تو یہ واقعی ایک بہت بڑا مسئلہ ہے۔ اس صورت میں نہ صرف پروڈکشن رک جاتی ہے، بلکہ سلیکون سطحوں پر شیشے کے ٹکڑے اور ہیلوجن گیس بھی پڑ جاتی ہے۔ یہ صورتحال بہت پریشان کن ہے، اور اس سے بہت نقصان بھی ہوتا ہے۔
ہم نے لیمپوں کی ساخت کو دوبارہ ڈیزائن کرکے اس مسئلے کو حل کیا۔ ہم نے لیمپوں کے ارد گرد ایک فزیکل شیلڈ اور اعلیٰ عکاسی والا خول تیار کیا۔
راز تو اس شیلڈ میں ہی ہے۔
زیادہ تر لوگ سمجھتے ہیں کہ ریفلیکٹرز کا کام صرف IR ریڈییشن کو ویفر پر واپس بھیجنا ہے۔ یقیناً، یہی کام وہ کرتے ہیں۔ لیکن ہم نے سونے سے ڈھکے یا اعلیٰ خالصیت والے الومینیم کا استعمال کرکے اس خول کو ایک محفوظ ڈبے میں تبدیل کردیا۔
اگر ٹیوب دباؤ کی وجہ سے پھٹ جاتی ہے، تو ریفلیکٹر شیلڈ اس کے ٹکڑوں کو روک لیتا ہے۔ اس طرح یہ ٹکڑے ویفر پر نہیں گرتے۔ یہ ایک آسان حل ہے، لیکن اس سے بڑی تباہی سے بچا جاسکتا ہے۔
زیادہ حرارت، کم دباؤ…
ہم نے ان ریفلیکٹروں کو ایسے ڈیزائن کیا کہ حرارت صرف اسی جگہ پہنچے جہاں اس کی ضرورت ہے۔ بیم کو تنگ کرکے، زیادہ حرارت حاصل کی جاسکتی ہے، بغیر وولٹیج کو بڑھانے کی ضرورت کے۔
سب سے اچھی بات یہ ہے کہ اس سے ٹیوب کی دیواروں پر کم دباؤ پڑتا ہے، جس کی وجہ سے فلامنٹ زیادہ عرصے تک کام کرتا رہتا ہے۔
لیکن ایک بات کا خیال رکھنا ضروری ہے: باہری خول بہت گرم ہو جاتا ہے۔ اگر ہوا کا بہاؤ رک جائے، تو یہ گرمی وقت کے ساتھ ساتھ ماؤنٹنگ بریکٹس کو خراب کرسکتی ہے۔ لہذا، وینٹیلیشن پر ضرور توجہ دیں۔
کلین روم کے لئے بنایا گیا…
کسی کو بھی چھوٹے چھوٹے کونوں سے گرد صاف کرنا پسند نہیں ہے۔ اسی لئے ہم نے ریفلیکٹر کو ہموار اور گول شکل دی۔ اس میں گرد چھپنے کی کوئی جگہ نہیں ہے۔ اسے صاف کرنا بھی آسان ہے، اور پروڈکشن کے دوران کاربنائزڈ ذرات کے بارے میں فکر کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔
جب انہیں لائن میں نصب کرتے ہیں، تو یقین کریں کہ وہ 0.5 ملی میٹر کے اندر ہی ہوں۔ اگر وہ اس سے باہر ہوں، تو ویفر پر گرم نقاط بن جائیں گے، جس سے کیورنگ عمل متاثر ہوگا۔
اگر الائنمنٹ درست ہو، تو یہ ایک ممکنہ تباہی کو ایک عام مرمت کے کام میں تبدیل کردیتا ہے۔