
متوقف کنید شکستن لامپها را: حفاظت از ویفرها در صورت خراب شدن لامپها
در کارخانههایی با تولید حجیم، خراب شدن لامپها یک فاجعه است. مسئله فقط مربوط به توقف فعالیت کارخانه نیست؛ بلکه مشکلات ناشی از آن نیز وجود دارد. اگر لامپ مادون قرمز درست روی ویفر منفجر شود، تکههای شیشهای و مواد شیمیایی در همه جا پخش خواهند شد. این امر منجر به از بین رفتن محصولات تولید شده و همچنین مشکلات زیادی خواهد شد.
ما لامپهای مادون قرمز خود را طوری طراحی کردهایم که بتوانند گرما را تحمل کنند؛ بنابراین نیازی نیست نگران خرابی کامل لامپها باشید.
مقابله با خرابی لامپها
ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا برای ساخت بدنه لامپها استفاده میکنیم. چرا؟ چون این ماده در برابر تغییرات شدید دما مقاوم است.
اما ما فقط به همین جا متوقف نشدیم؛ ما یک لایه مقاوم در برابر شکستن و یک پوشش ویژه نیز اضافه کردیم. میتوانید آن را مانند یک تور ایمنی در نظر بگیرید. اگر اتصالات لامپ از بین برود، رشته الکتریکی لامپ سالم خواهد ماند. در این صورت، تکههای شیشهای در همه جا پخش نخواهند شد؛ یعنی خرابی لامپ محدود خواهد ماند. این تفاوت بین یک مشکل کوچک و یک فاجعه است.
گرما، فشار و تیرگی سطح لامپ
وقتی که این لامپها تحت فشار زیاد قرار میگیرند، دمای آنها بسیار بالا میرود. احتمالاً تا به حال شاهد تیرگی سطح لامپها بودهاید؛ این امر زمانی رخ میدهد که تنگستن تبخیر شده و روی سطح کوارتز رسوب کند. این لکههای تیره باعث ایجاد نواحی گرم میشوند، و نواحی گرم نیز منجر به ترک خوردن لامپ میشوند. برای جلوگیری از این مشکل، ما شیمی الکترودها را تغییر دادیم؛ این کار باعث میشود که رسوبات ایجاد نشوند، و در نتیجه نیازی نیست لامپها را هر پنج دقیقه یکبار تعویض کنیم.
نکته مهم: اگر از لامپهای با توان بالا استفاده میکنید، بدنه لامپ نیز تحت فشار قرار خواهد گرفت. حتماً مطمئن شوید که سیستم خنککننده لامپ، گرمای تولید شده را میتواند تحمل کند؛ نه فقط مقدار حداقلی که در راهنمای لامپ ذکر شده است.
واقعیتهای کارخانههای پاک
هیچ چیز سریعتر از ذرات غبار، محصولات تولید شده را از بین نمیبرد. به همین دلیل، ما بر روی اتصالات لامپها تمرکز زیادی داشتیم. اگر اتصالات لامپ شل باشند، ارتعاشات الکتریکی ایجاد میشود؛ این ارتعاشات باعث ایجاد غبار میشوند، و غبار نیز باعث ایجاد نقصهایی در محصولات تولید شده میشود. این یک چرخه مخرب است.
ما از موادی استفاده کردیم که در دماهای بالا گازی تولید نکنند؛ این کار باعث میشود که هوا تمیز بماند و اتصالات الکتریکی نیز محکم باقی بمانند. این یک راهحل ساده است، اما با هدف حفظ ویفرها در وضعیت سالم، در هر شرایطی، طراحی شده است.