無駄な熱の浪費をやめよう：アルミニウム反射板の利点
IRランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。まるで、光がどこに向かっているのかわからない電球のようです。
半導体装置においては、これは大きな問題です。そのエネルギーを適切に制御しなければ、大部分のエネルギーが装置の壁に当たってしまいます。その結果、装置の外観部が非常に熱くなり、技術者が火傷したり、内部の敏感な部品が損傷する可能性があります。
私たちの解決策
私たちは高純度のアルミニウム反射板を使用して、その熱をコントロールします。これは、まるで熱を反射する鏡のようなものです。アルミニウムを放物線状や楕円形に曲げることで、熱が四方八方に散らばるのを防ぎ、集中したビームに変えることができます。これは単純な工夫ですが、全てを変えてしまいます。装置の外殻がエネルギーを吸収する代わりに、熱は本来あるべき場所、つまり加工対象物に直接届きます。
注意点（そして対処法）
アルミニウムは安価で、熱に強いため最適な材料です。しかし、完璧ではありません。酸化が問題です。時間が経つにつれて、表面が劣化し、反射率が下がります。そうなると、より多くの熱が装置の壁に漏れてしまい、加工対象物に届く熱が減ってしまいます。キズや変色がある場合は注意が必要です。色が暗く見える場合、おそらく機能していないでしょう。
作業環境の安全確保
反射板を使用することで、「不要な熱」を排除できます。装置がオーブンのようになるのを防ぎ、技術者も安全に作業を行うことができます。ただし、ビームを集中させると、その強度は非常に高くなります。だから、ランプの距離を慎重に調整する必要があります。近すぎると、基板が焼けてしまいます。