Stop de nachtmerrie: houd je wafers schoon wanneer de heaters falen
Als je ooit hebt gewerkt in een halfgeleiderzuiverruimte, ken je dat gevoel. Er breekt een infraroodlamp, en plotseling vallen er scherven van glas en wolframdraad op de wafers. Het is een complete ramp: onmiddellijke besmetting en afval.
We zijn allemaal wel eens in zo’n situatie beland. Daarom hebben we onze heaters ontworpen zodat ze het kunnen hebben onder de hoge belastingen die zich voordoen tijdens de productie, zodat dit soort problemen niet gebeuren.
Omgaan met gebroken lampen
We rekenen er niet op dat de lampen het blijven uithouden. Dat is een risico dat we ons niet kunnen veroorloven. In plaats daarvan plaatsen we de infraroodelementen in een versterkte behuizing of een behuizing gemaakt van kwarts van hoge zuiverheid.
Als een lamp door thermische schokken kapotgaat of gewoon zijn limiet bereikt, vangt de behuizing al het puin op. Het puin blijft op zijn plek en raakt de wafers niet. Hierdoor blijven de wafers schoon. Op deze manier wordt een potentiële catastrofe omgezet in een klein, beperkt probleem.
De wetenschap achter het voorkomen van breuk
We gebruiken speciaal soort kwartsglas dat niet breekt wanneer de temperaturen snel veranderen. Het heeft een lage koëfficiënt van thermische uitzetting, oftewel: het breekt niet wanneer de temperatuur snel stijgt of daalt.
We besteden ook veel aandacht aan het centreren van de heaters. Als de verwarmings-elementen niet precies op hun plek zitten, ontstaan er ‘ hete plekken’ op de wand van de buis. Dat verzwakt het glas. Door de vermogensdichtheid goed te regelen, blijft het glas in een veilige zone, zodat het zijn werk kan blijven doen zonder te slijten.
Het simpeel houden
Wanneer een lamp uiteindelijk kapotgaat, wil je natuurlijk niet de helft van je werktijd besteden aan het repareren ervan. We gebruiken gestandaardiseerde aansluitingen, zodat je de kapotte lamp eenvoudig kunt vervangen door een nieuwe. Er is geen noodzaak om de heaters nog te aligneren. Het is snel geregeld.
Eén ding moet je wel onthouden: lampen met hoge vermogens genereren veel warmte. Als deze warmte zich verspreidt in het frame van de heater, kunnen de rails vervormen. Zodra dat gebeurt, is de positie van de wafers verstoord. Zorg er dus voor dat je koelventilatoren of koelsystemen goed werken. We geven je alle benodigde gegevens over de warmtestraling, zodat je de juiste koeloplossing kunt kiezen voor je apparaat.