如何让100级洁净室始终保持清洁状态
在100级洁净环境中，任何微小的污染都可能带来严重后果。哪怕是一小块皮肤碎片或一点灰尘，都足以毁掉晶圆或高精度透镜。
问题在于，大多数加热元件并不适合在这种环境下使用。因为它们在加热和冷却过程中会释放出一些杂质。为了解决这个问题，我们使用了高纯度的合成石英红外灯。这类灯具就是专门为半导体制造环境设计的。
为什么需要使用石英材料
我们不会使用普通的玻璃或质量低劣的材料。我们使用的是几乎不含杂质的熔融硅。为什么呢？因为当这些灯达到最高温度时，廉价材料会释放出金属氧化物。而这种物质显然会破坏产品的纯净度。因此，我们会在使用前对每根灯管进行化学处理，以去除表面的残留物。这样就能确保灯管始终保持清洁状态。
功率与热量
这些灯具的设计目的是提供强大的加热效果。无论使用的是短波还是中波光源，我们都会严格控制单位长度上的功率。高功率意味着可以更快地提升温度，这有助于避免周边设备吸收过多的热量。不过需要注意的是，这类灯具需要大量的电流，如果电路系统无法承受如此高的负荷，就会导致电压下降，进而影响产品的加工质量。所以，务必确保电路系统能够满足需求。
安装方式
我们会使用密封的端盖，以防止灯丝中的物质泄漏出来。这些端盖可以替代大多数用于半导体制造的烘箱。不过，高纯度石英的脆性比强化玻璃要高，因此需要小心处理。如果在安装过程中出现撞击或热膨胀不均的情况，灯管就有可能破裂。只要确保安装支架的位置准确，不会对石英管施加压力，就不会有问题了。