无需浪费资源来干燥晶圆
说实话，传统的对流式烤箱对于现代半导体工厂来说简直就是个噩梦。它们体积庞大、耗能极高，而且也不符合无铅、环保的发展趋势。
因此，我们改用了防水型红外线灯来进行晶圆的清洗工作。与试图加热大量空气相比，这种灯具可以直接照射到液体上，从而更高效地完成清洗任务。这显然是一种更聪明的解决方案。
其工作原理
可以这样理解：热空气的传导速度很慢，而红外线则不同。它利用电磁波直接穿透晶圆表面的液体，使水分子迅速振动并消失。
由于这些灯具需要工作在高湿度环境中，所以我们不能随便使用普通灯泡。我们必须使用密封的石英灯罩以及防潮湿的接线装置。否则，灯丝很快就会氧化烧毁。没人希望每周二都得更换灯泡吧。
保护地球环境
大多数传统的干燥设备依赖化石燃料或大型空调系统，这些设备会消耗大量电能。而红外线灯则依靠电力驱动。如果使用的是可再生能源电网，那么几乎不会产生碳排放。此外，这种技术也不会产生有害的挥发性有机物或化学溶剂，真正实现了清洁能源的运用。
面临的挑战
不过，这项技术并非那么简单易用。高强度的红外线灯虽然能让干燥过程更快，但其产生的热量也相当大。如果灯光距离晶圆太近，就可能导致晶圆受热损坏。因此，必须精确控制灯光与晶圆之间的距离，这样才能避免过热现象。
节省空间
最棒的是，这类系统的占地面积极小。虽然其干燥效果与传统对流式干燥设备相当，但所占空间却要小得多。这样一来，洁净室里的空间就能得到充分利用，同时也能减少管道系统的复杂性。这真是一个简单的电气解决方案，却能有效解决复杂的化学处理问题。