Wie man die Wafer sauber hält: Die Wahrheit über Defekte bei IR-Lampen
In einer Fabrik mit hoher Produktionsleistung ist ein defekter Lampenstrom nicht nur lästig – es handelt sich dabei um eine echte Katastrophe. Wenn eine Infrarotlampe direkt über einer Siliziumwafer zerbricht, muss man nicht nur mit Stillstand kämpfen, sondern auch mit Glasscherben und chemischen Verunreinigungen, die auf die Produkte fallen. Das ist eine sekundäre Kontamination – und das ist eine Katastrophe. Wir haben unsere IR-Lampen mit Goldreflektoren entwickelt, um das zu verhindern.
Warum Gold wichtig ist
Die meisten Menschen verwenden Aluminiumreflektoren – doch diese absorbieren zu viel Energie. Wir haben stattdessen einen Hochreinheitsgoldüberzug verwendet. Dadurch wird das Infrarotlicht viel effektiver weitergeleitet. Da die Wärmedichte höher ist, kann die Lampe bei niedrigerer Innentemperatur betrieben werden – und dennoch das gleiche Ergebnis erzielen. Das ist ein Gewinn für beide Seiten: Die Quarzhülle wird weniger belastet, wodurch sie seltener verbiegt oder Risse bekommt.
Vermeidung von Defekten
Wir verwenden Quarzglas mit dicken Wänden, um den Schock durch schnelle Schaltvorgänge abzufangen. Doch damit sind wir noch nicht fertig. Wir haben außerdem eine schützende Hülle hinzugefügt – man könnte sie als Sicherheitsnetz betrachten. Wenn die innere Glühbirne versagt, fängt die Hülle alle Trümmer auf. Kein Glasstaub mehr auf den Wafern – das ist sicher.
Schutz vor Leckagen
Falls eine Dichtung undicht wird, dringt Sauerstoff in den Halogenkreislauf ein. Das führt dazu, dass die Lampe beschädigt wird. Um das zu verhindern, prüfen wir jede Dichtung auf Vakuum, damit das Halogensgas genau dort bleibt, wo es hingehört.
Eine Warnung
Hochleistungs-Lampen werden extrem heiß. Da der Goldreflektor alle thermische Energie in einem kleinen Bereich konzentriert, muss man auf die Kühlung achten. Wenn die Luftzirkulation nachlässt, sammelt sich Wärme an den Anschlüssen – das kann dazu führen, dass die Leitungen beschädigt werden. Das will natürlich niemand. Halten Sie die Kühlung stabil – dann werden diese Lampen lange funktionieren.