Verhindern Sie die Kontamination der Wafer bereits im Vorfeld – eine klügere Methode zum Umgang mit Trockenungsleuchten
Seien wir ehrlich: Wenn eine Quarztube während des Betriebs unter hoher Belastung zerbricht, ist das ein Albtraum. Man hat es nicht nur mit einer kurzen Stillstandzeit zu tun – es entstehen außerdem Glassplitter und Halogengas auf den Siliziumoberflächen. Das ist chaotisch, kostspielig und birgt große Probleme.
Wir haben einen Weg gefunden, dies zu verhindern, indem wir die Konstruktion der Leuchte neu überdacht haben. Wir haben im Grunde genommen einen physischen Schutzschild sowie eine hochreflektierende Hülle in die Konstruktion integriert.
Das Geheimnis liegt im Schutzschild.
Die meisten Menschen denken, dass Reflektoren nur dazu dienen, Infrarotstrahlung zurück auf die Wafer zu lenken. Das stimmt zwar, aber wir verwenden vergoldetes oder hochreines Aluminium, um die Hülle in einen Schutzbehälter zu verwandeln.
Wenn eine Tube unter Druck zerbricht oder ausfällt, fängt die Reflektorhülle die Trümmer auf. Dadurch werden die Partikel davon abgehalten, auf die Wafer zu fallen. Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung – doch sie verhindert eine Katastrophe.
Mehr Wärme – mit weniger Stress.
Wir haben diese Reflektoren so angepasst, dass der Strahl genau dorthin geleitet wird, wo er benötigt wird. Durch die Verengung des Strahls entsteht eine höhere Wärmedichte – ohne dass man die Spannung erhöhen muss.
Das Beste daran: Die Wandungen der Tube werden weniger belastet – dadurch halten die Filamente länger.
Achtung: Die Außenhülle wird sehr heiß. Wenn die Belüftung blockiert ist, kann diese Hitze im Laufe der Zeit die Befestigungsarme der Tube verformen. Achten Sie daher auf eine gute Belüftung.
Für Reinräume entwickelt.
Niemand mag es, Staub aus engen Ecken zu entfernen. Deshalb haben wir die Reflektoren mit einer glatten, geschwungenen Oberfläche gestaltet. Es gibt keine Ecken, in denen sich Schmutz verstecken könnte. Die Reflektoren lassen sich leicht reinigen – und man muss sich keine Sorgen machen, dass kohlenstoffisierte Partikel während des Betriebs abfallen könnten.
Wenn Sie diese Reflektoren in Ihre Anlage einbauen, stellen Sie sicher, dass sie innerhalb von 0,5 mm parallel zueinander liegen. Andernfalls entstehen heiße Stellen auf den Wafern – was wiederum zu einer ungleichmäßigen Trocknung führt.
Wenn Sie die Ausrichtung richtig einstellen, verwandeln Sie eine potenzielle Katastrophe in eine einfache Wartungsaufgabe.