Beenden Sie den Albtraum: Ihre Wafer sauber halten, wenn die Heizgeräte versagen
Wenn Sie schon einmal in einem Halbleiterreinraum gearbeitet haben, kennen Sie dieses Gefühl. Plötzlich geht eine Infrarotlampe kaputt – und plötzlich regnen Glasscherben sowie Wolframfäden auf die Wafer herab. Das ist eine absolute Katastrophe: Sofortige Kontamination der Wafer.
Wir alle waren schon einmal in so einer Situation – deshalb entwickeln wir unsere Heizgeräte so, dass sie auch unter hoher Belastung funktionieren und solche Katastrophen verhindern.
Umgang mit defekten Lampen
Wir hoffen nicht einfach darauf, dass die Lampen halten. Das ist ein Risiko, das man sich nicht leisten kann. Stattdessen verstauen wir die Infrarotkomponenten in einer verstärkten Hülle oder in einer Hochreinquarzhülle. Wenn eine Lampe durch thermische Belastung zerbricht oder einfach ihren Betriebslimit erreicht hat, fängt die Hülle alles auf. Die Scherben bleiben dort und gelangen nicht in den Transportweg der Wafer – somit bleiben diese sauber. Dadurch wird eine potenzielle Katastrophe in einen kleinen, beherrschbaren Fehler verwandelt.
Die Wissenschaft dahinter
Wir verwenden speziellen Quarzglas, das bei schnellen Temperaturänderungen nicht zerbricht. Es hat einen niedrigen thermischen Ausdehnungskoeffizienten – das bedeutet, es bricht nicht, wenn die Temperatur schnell ansteigt oder sinkt.
Wir achten außerdem darauf, dass die Heizelemente genau im richtigen Abstand zueinander angeordnet sind. Wenn die Heizelemente etwas schief angeordnet sind, entstehen „heiße Punkte“ an der Wand der Röhre. Das schwächt das Glas. Durch gleichmäßige Verteilung der Leistungsdichte bleibt das Glas in einer sicheren Zone – dort kann es seine Funktion erfüllen, ohne zu verschleißen.
Einfach bleiben
Wenn eine Lampe schließlich kaputtgeht, möchten Sie doch nicht die Hälfte Ihrer Arbeitszeit damit verbringen, sie zu reparieren. Wir verwenden standardisierte Anschlüsse, sodass man einfach die defekte Lampe austauschen kann. Keine Komplikationen bei der Justierung des Heizgeräts – es geht schnell.
Achtung: Hocheffiziente Lampen erzeugen viel Strahlungswärme. Wenn diese Wärme in den Rahmen des Heizgeräts eindringt, können die Schienen verbiegen. Dann ist die Positionierung der Wafer nicht mehr möglich. Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühlventilatoren oder Kühler zur Bewältigung dieser Belastung ausreichen. Wir liefern Ihnen alle notwendigen Daten zur Wärmeabgabe, damit Sie die richtige Kühlung für Ihr Gerät auswählen können.