高純度石英ヒーター素子

ライン上で温度は背景設定ではなく、コアプロセスの操作レバーであり、単なる推測で扱うことはできない。 ウェハー乾燥、フォトレジストベイク、パッケージ硬化、クリーニング乾燥において、加熱素子は歩留まりと再現性の中心に位置する。加熱ゾーン内の冷点、ソーク中のドリフト、熱サイクル後の粒子発生は、スカム、残...