エバテック蒸発器加熱ランプ

ファブフロアにおいて、フォトレジストのベークは単なる工程の一つではなく、許容範囲の境界線に位置している。ソフトベークまたはハードベークの温度が2℃ずれると、CDバイアスが変化し、サイドウォールのプロファイルが傾き、パーティクルカウントが仕様外に逸脱する。Evatecの蒸着装置用ヒーターランプは、そ...