なぜカーボンファイバーIRがスマートファブの鍵となるのか 新しいスマートファブを構築する際、おそらく皆さんもご存知の通り、すべての要素を迅速かつ正確に接続する必要があります。しかし、多くの人が直面する問題があります。それが加熱です。 従来のヒーターは反応が遅く、温まるのに時間がかかり、冷却にも長い...

なぜバイオセンサーに赤外線硬化技術を用いるのか バイオセンサーを作るとき、熱処理の工程は非常にデリケートです。ポリマーや接着剤を硬化させる必要がありますが、基板を壊してしまってはいけません。 そのため、私たちは赤外線ランプを利用します。このランプは、熱風を送る代わりに放射エネルギーを使って加熱を行...

チューブの破裂を防いで、一日を台無しにしないようにする バイオセンサーの製造において、1つの不良なランプがあるだけで、大量のウェーハが台無しになってしまいます。これは本当に悪夢的な状況です。 高負荷状態でクォーツチューブが破裂すると、単なる稼働停止だけでは済みません。ガラスの破片や金属の粉が作業場...

なぜ、バイオセンサーの研究でホットエアの代わりに赤外線を使うのか？ バイオセンサーを作る際、硬化や乾燥の工程が最も面倒な部分です。長年にわたり、標準的な方法はホットエアを使用することでした。しかし正直、これは非常に非効率的な方法です。 問題は、空気を利用するシステムでは、センサー自体が温まる前に、...

無駄なくウェーハを乾燥させる方法 正直に言って、従来の対流型オーブンは、現代の半導体製造施設にとってはまさに悩みの種です。大きくて、エネルギー消費も多く、また、鉛フリーで環境に優しい基準にも合致しません。 そのため、私たちは洗浄工程で防水機能付きの赤外線ランプを使用しています。大量の空気を加熱する...

なぜUHPヒーターランプの絶縁試験を徹底的に行うのか？ ウルトラハイピュリティー（UHP）ヒーターランプを扱う場合、極度の高温環境下で作業を行うことになり、ミスの余地はありません。もしこれらのランプを半導体や医薬品製造装置に接続するなら、そのリスクは非常に高くなります。わずかな電気漏れがあっただけ...

ウエハーの汚染を心配するのはやめましょう。 半導体製造工場では、ランプの故障は大きな問題です。停電だけでなく、周囲が汚染されてしまうのです。高負荷状態でクォーツ管が破裂すると、破片が至る所に飛び散り、ウエハーが汚染され、歩留まりが低下してしまいます。 私たちも同じ経験をしました。だからこそ、2本の...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 クラス100の環境では、失敗の代償は非常に大きい。わずかな皮膚の破片やほこりの粒子だけで、ウェハーが台無しになったり、高精度なレンズが使えなくなったりしてしまう。 問題は、一般的な加熱素子ではこれに対応できないということです。加熱・冷却の際に...

なぜクリーンルームでは対流式オーブンの代わりにIRランプを使用するのか？ 半導体製造ラボで働いたことがある人なら、従来の対流式オーブンの問題点をよく知っているでしょう。空気を加熱し、その空気が部品を温めるという仕組みです。しかし、これは非常に時間がかかります。また、エネルギー消費も多いです。正直、...

無駄な熱の浪費をやめよう：アルミニウム反射板の利点 IRランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。まるで、光がどこに向かっているのかわからない電球のようです。 半導体装置においては、これは大きな問題です。そのエネルギーを適切に制御しなければ、大部分のエネルギーが装置の壁に当たってしま...

揮発性化学物質の周りで赤外線ヒーターを使用する際の安全対策 もし化学洗浄ラインを運用しているなら、ご存知の通り、使用される溶剤は多くが可燃性であり、さらに悪いことに爆発性のものもあります。そこに通常の赤外線ランプを使うと、問題が発生します。通常のランプはスパークを起こしたり、オゾンを発生させたりす...

可燃性化学物質の近くでIRランプを安全に使用するために 正直に言って、化学洗浄エリアでIRランプを使うのは少し心配です。そこでは不安定な蒸気が存在しており、わずかな火花やチューブの小さな亀裂でも、単なる技術的な故障ではなく、大災害を引き起こす可能性があります。 そうした事態を防ぐために、私たちはフ...

ウェーハの汚染を未然に防ぐ：硬化ランプをより効果的に扱う方法 正直に言って、高負荷でウェーハを処理している最中に石英管が破裂すると、それは大変な問題です。単に生産停止になるだけでなく、シリコン表面にガラスの破片やハロゲンガスが付着してしまいます。これは非常に面倒で、コストもかかり、誰もが避けたい状...

実際の現場で使用できる赤外線ランプ 私たちがこの赤外線ランプを作ったのは、最高性能の製品に高額な費用を払うのにうんざりしているエンジニアのためです。これは、普段使っている高価な海外ブランドの部品に代わる、高性能な代替品です。特にウェーハの乾燥に最適です。つまり、生産ラインを止めないように、十分な熱...

ウェーハのバーンインやフォトレジストのベイク処理中に温度が変動しても、それに対する警告は表示されません。その結果、線幅の変動や接着力の低下、そして電気的なテスト時に初めて問題が明らかになります。私たちは、このような変動を未然に防ぐために、NIR加熱ランプを開発しました。 重要なのは内部構造です こ...

製造現場では、焼成温度が0.5℃変動するだけで、ウェーハの寸法にナノメートル単位の誤差が生じ、製品の品質が基準を下回ってしまいます。ソフトベイクやハードベイクというのは単なる「加熱工程」に過ぎません。それらは、リソグラフィー工程全体の熱的条件を決定するものです。 内部で重要なのは何か 私たちは、金...

ファブフロアにおいて、フォトレジストのベークは単なる工程の一つではなく、許容範囲の境界線に位置している。ソフトベークまたはハードベークの温度が2℃ずれると、CDバイアスが変化し、サイドウォールのプロファイルが傾き、パーティクルカウントが仕様外に逸脱する。Evatecの蒸着装置用ヒーターランプは、そ...

包装ラインでは、チップが着地した瞬間にクロックがスタートする。 位置合わせ、ディスペンス、硬化。ランプが点灯する。熱プロファイルが1度でもずれると、ボンドラインの空洞、活性化しきれないフラックス、またはアレイ全体で均一に硬化しないエポキシといったリスクを負うことになる。Mini LEDでは、これら...