MEMS 웨이퍼를 더 효과적으로 건조시키는 방법 솔직히 말해서, MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 수분을 제거해야 하지만, 어떠한 잔여물도 남겨서는 안 되며, 엄청난 온도 변화로 인해 웨이퍼가 손상되어서도 안 됩니다. 오랫동안 우리는 그...

왜 우리가 공장에서 적외선 광경화 방식으로 전환하는가? 건조 라인의 에너지 사용량을 점검할 때마다 저는 한 가지를 고민합니다. 바로 생산 속도를 늦추지 않으면서도 탄소 배출을 줄일 방법입니다. 기존의 대류식 오븐들은 사실상 엄청난 양의 공기를 가열하는 거대한 상자에...

실제 환경에 적합하게 설계된 적외선 램프 우리는 최고의 성능을 얻기 위해 엄청난 비용을 지불해야 하는 엔지니어들을 위해 이 적외선 램프를 만들었습니다. 이 램프는 고가의 국제적인 브랜드 제품들에 대한 훌륭한 대안입니다. 특히 웨이퍼 건조에 매우 유용합니다. 핵심은,...

생산 현장에서는, 세척 후에 남은 미세한 수분만으로도 전체 웨이퍼의 품질이 저하될 수 있습니다. 기존의 건조 방식은 웨이퍼 표면에 온도 차이를 만들어내며, 이러한 온도 차이로 인해 소프트 베이크 과정에서 포토레지스트의 두께가 균일하지 않아집니다. 우리는 바로 이러한...

반도체 제조 현장에서, 웨이퍼가 최종 린스 과정을 거쳐 나오면 동시에 시간이 시작된다. 건조 히터가 요구 속도를 맞추지 못하면 포토레지스트 아래에 수분이 갇히게 되고, 이는 수시간 후 리소그래피 공정에서 결함으로 나타난다. 당사의 MEMS 웨이퍼 건조 히터는 이러한...