클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 만약 클래스 100 청정실을 운영하고 있다면, 그 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 미세한 먼지와 싸워야 하며, 모든 장비가 문제를 일으킬 수 있습니다. 일반적인 히터들은 가장 큰 문제를 일으키는데, 가스를 방출하거...

왜 카본 파이버 IR이 스마트 팩토리의 핵심 기술인가요? 새로운 스마트 팩토리를 구축할 계획이라면, 모든 것이 빠르고 정확하게 연결되어야 한다는 점은 잘 알고 있을 것입니다. 하지만 많은 사람들이 겪는 문제가 바로 가열 방식입니다. 기존의 가열 요소들은 반응 속도가...

생체센서에 적외선을 사용하는 이유 생체센서를 제작할 때, 열처리 과정은 매우 섬세한 작업입니다. 폴리머나 접착제를 경화시켜야 하지만, 기판이 손상되어서는 안 됩니다. 그래서 우리는 적외선 램프를 사용합니다. 이 램프들은 공기를 데우는 대신 방사능을 이용해 에너지를 전...

일상을 망치기 전에 관을 파열되는 것을 막아야 합니다. 바이오 센서 생산 과정에서 단 하나의 결함 있는 램프만으로도 모든 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다. 고부하 상태에서 석영관이 파열되면, 그건 단순히 가동 중단 문제가 아닙니다. 갑자기 작업...

왜 생체센서 연구소에서는 열풍 대신 적외선을 사용하는가? 생체센서를 제작할 때, 가장 번거로운 과정은 센서를 굳히고 건조시키는 단계입니다. 오랫동안 표준적인 방법은 열풍을 이용하는 것이었습니다. 하지만 솔직히 말해서, 이 방법은 매우 비효율적입니다. 문제는 공기를 이...

폐기물 없이 웨이퍼를 건조시키는 방법 솔직히 말해서, 기존의 대류식 오븐들은 현대 반도체 공장에 있어서는 그다지 효율적이지 않습니다. 크기가 커서 에너지를 많이 소비하며, 무연화 및 친환경적인 기준에도 부합하지 않습니다. 그래서 우리는 세척 단계에서 방수 기능을 갖춘...

더 나은 난방 시스템으로 욕실의 습기 문제를 해결하세요. 대부분의 욕실용 히터는 단순히 공기를 따뜻하게 만드는 데 그칩니다. 문제는 공기가 계속 움직이기 때문에, 벽에 생기는 습기를 제거하는 데는 별로 효과가 없다는 것입니다. 우리는 다른 방식을 사용합니다. IP55...

IR 가열과 열풍 가열: 귀하의 클린룸에는 어떤 것이 적합할까요? 반도체 처리용 오븐을 선택할 때 고려해야 할 것은 단 하나입니다. 바로 열을 어떻게 전달할 것인가 하는 점입니다. 대부분의 사람들은 열풍 가열 방식을 선호합니다. 공기를 가열한 다음 팬을 이용해 그 공...

클래스 100급 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100급 환경에서는 위험도가 매우 높습니다. 아주 작은 피부 조각이나 먼지 한 점만 있어도 문제가 됩니다. 그러면 웨이퍼가 망가지거나 고정밀 렌즈도 사용할 수 없게 됩니다. 문제는 대부분의 가열 장치들이 이...

왜 청정실에서는 대류식 오븐 대신 적외선 램프를 사용하는가? 반도체 연구실에서 일해본 사람이라면, 전통적인 대류식 오븐의 단점을 잘 알 것입니다. 공기를 가열하여 부품을 데우는 방식이기 때문에 시간이 많이 걸립니다. 또한 에너지 소비도 많습니다. 솔직히 말해서, 오염...

왜 욕실에는 단순히 “따뜻한 공기”만으로는 부족한가요? 대부분의 사람들은 방수형 적외선 히터가 샤워를 마친 후 몸이 추위로 떨리지 않도록 해주는 것이라고 생각합니다. 하지만 자세히 살펴보면, 이 히터는 사실 욕실을 건조하게 유지해주는 비밀 무기입니다. 그 비결은 바로...

IR 히터의 전선 밀봉에 대한 진실 솔직히 말해서, 욕실은 전자제품에 있어서 악몽과도 같은 곳입니다. 엄청난 열기와 높은 습도가 반복적으로 작용하기 때문이죠. 이는 정말 치명적인 조합입니다. 대부분의 저가형 적외선 히터들은 전선의 밀봉이 제대로 되지 않아 결국 버려집...

웨이퍼를 깨끗하게 유지하기: IR 램프 고장의 진실 대량 생산 환경에서 램프가 고장 나는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 재앙과도 같습니다. 만약 적외선 램프가 실리콘 웨이퍼 바로 위에서 고장 난다면, 단순히 가동 중단 문제만 있는 것이 아니라, 유리 조각들과...

장비를 오븐처럼 사용하는 것을 그만둡시다. 솔직히 말해서, 장비의 잘못된 부분을 가열하는 것은 단순히 돈 낭비일 뿐만 아니라 위험한 행위입니다. 일반적인 적외선 램프를 사용한다면, 그 빛이 모든 방향으로 퍼져나간다는 것을 알고 계실 것입니다. 이로 인해 장비의 내부...

휘발성 화학물질이 있는 곳에서 적외선을 사용할 때 안전을 유지하는 방법 화학물질으로 물건을 청소하는 작업을 하신다면, 사용되는 용매들이 대부분 인화성이 있거나 심지어 폭발성이 있다는 것을 잘 알고 계실 것입니다. 여기에 일반적인 적외선 램프를 사용하면 문제가 생깁니다...

왜 클린룸에서는 적외선 가열이 강제 공기 순환 방식보다 우수한가? 반도체 제조 과정에 관여해 본 사람이라면, 가열 과정에서 발생하는 문제들을 잘 알고 있을 것입니다. 대부분의 구식 설비들은 강제 공기 순환 방식을 사용합니다. 그러니까, 엄청난 크기의 송풍기들이 돌아가...

천장형 히터와 싸우지 마세요. 대부분의 천장형 히터는 설치한 후에는 잊어버리게 되는 제품입니다. 그러다가 언젠가 히팅 요소가 고장나면 비극이 시작됩니다. 만약 그 장치가 쉽게 접근할 수 있도록 설계되지 않았다면, 단순한 전구를 교체하는 것도 큰 작업이 됩니다. 천장...

천장과 싸우지 마세요: 큰 공간을 따뜻하게 만드는 더 좋은 방법 고급스러운 라커룸이나 거대한 스포츠 시설에 들어가 본 적이 있다면 그 느낌을 알 것입니다. 바닥에서는 추위에 떨고 있지만, 비싼 난방 장치의 열은 온통 천장에만 머물러 있죠. 정말 짜증나는 일입니다. 일...

욕실 히터의 적절한 와트수를 선택하는 방법 뜨거운 샤워를 마치고 추운 욕실로 나오는 것만큼 불쾌한 일은 없습니다. 하지만 천장형 히터의 와트수를 잘못 선택하면, 추운 곳에서 떨어야 하거나, 사실상 필요하지도 않은 전기 요금을 지불해야 합니다. 비밀은 이렇습니다. 실제...

글로브박스 내부를 가열하는 방식을 바꾸세요: 더 효과적인 열 처리 방법 반도체 제조 과정에서 특정 부품을 가열해야 하는 상황을 겪어본 적이 있다면, 그 어려움을 잘 알 것입니다. 해당 부품만 따뜻해지면 되는데, 전체 장비가 오븐처럼 뜨거워지는 것은 원하지 않습니다....

진정으로 따뜻한 욕실 만들기 (기다릴 필요 없이) 1월의 화요일 아침에 욕실에 들어갔는데 마치 고기 저장실에 들어온 것 같은 느낌이 들었던 적이 있나요? 정말 최악입니다. 그래서 우리는 적외선 히터를 다르게 설계했습니다. 대부분의 히터들은 주변 공기를 데우려고 하지만...

서문 이런 상황을 생각해보세요: 고부하가 걸리는 진공 챔버를 운용 중에, 그 안에 있는 작은 가열 램프가 고장 나버립니다. 그러면 전체 작업이 멈춰버립니다. 더욱 심각한 것은, 값비싼 웨이퍼들이 오염될 수 있다는 점입니다. 바로 이런 문제를 해결하기 위해 우리는 진공...

미러형 적외선 히터: 진정으로 따뜻한 욕실을 만드는 비결 뜨거운 샤워를 마치고 나오면 차가운 욕실 공기에 놀라곤 하죠. 우리 모두 그런 경험이 있을 것입니다. 바로 이때 미러형 적외선 히터가 유용합니다. 이 제품은 일반적인 거울처럼 보이지만, 동시에 강력한 난방 기능...

생산 현장에서는, 세척 후에 남은 미세한 수분만으로도 전체 웨이퍼의 품질이 저하될 수 있습니다. 기존의 건조 방식은 웨이퍼 표면에 온도 차이를 만들어내며, 이러한 온도 차이로 인해 소프트 베이크 과정에서 포토레지스트의 두께가 균일하지 않아집니다. 우리는 바로 이러한...

추운 아침에는 모든 것이 멈춰버립니다. 방 안으로 들어서면 차가운 공기가 느껴지고, 하루가 마치 자신과 싸우는 것 같은 기분이 듭니다. 하지만 적외선 히터를 켜는 순간 상황이 달라집니다. 원적외선 열이 공간 전체를 따뜻하게 만들어주어, 사람과 물체를 직접적으로 따뜻하...

팹 내에서는 베이킹 온도가 0.5°C만 변동해도 치명적인 차이가 생겨나며, 이로 인해 제품의 품질이 기준치에 미치지 못할 수 있습니다. 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 가열 과정이 아닙니다. 이들은 전체 리소그래피 공정에서 필요한 열 조건을 결정하는 역할을 합니...

On the line, a wafer comes off the spin coater and the photoresist needs to be set—fast—without any hot/cold spots. A couple degrees off during soft...