반도체 청정실용 트롤리 히터

악몽을 막으세요: 히터가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 반도체 청정실에서 일해본 적이 있다면 그 불안감을 잘 알 것입니다. 적외선 램프가 파손되면, 갑자기 유리 조각들과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 이는 엄청난 재앙입니다. 즉시 오염이...