고순도 석영 히터 요소

라인 상에서 온도는 단순한 배경 설정이 아니다. 이는 핵심 공정 조작 변수이며, 추측으로 다룰 수 없다. 웨이퍼 건조, 포토레지스트 베이크, 패키지 경화, 클리닝 건조 과정에서 히팅 요소는 수율과 반복성의 중심에 위치한다. 열 구역 내 냉점, 소킹 중 온도 편차, 열...