웨이퍼 표면 장력 측정 히터

팹 플로어에서의 중요성 제조 현장에서는 상황이 얼마나 빠르게 엉망이 될 수 있는지 잘 알고 있습니다. 포토레지스트 소프트 베이크에서 1°C의 변화는 CD를 이동시킬 수 있습니다. 비균일한 건조? 이는 수율을 저해하는 물자국을 발생시킵니다. 우리는 이러한 손실이 시작되...