반도체 히터용 열전대
IR 반도체 제조 공정에서 올바른 온도 조절하기
만약 반도체 제조 공장의 탄소 발자국을 줄이고 싶다면, 에너지 낭비를 막아야 합니다. 그래서 우리는 구식의 저항식 오븐 대신 적외선 가열등을 사용하고 있습니다. 그 이유는 간단합니다. 적외선은 열을 웨이퍼에 직접 전달하...
반도체 청정실용 트롤리 히터
악몽을 막으세요: 히터가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
반도체 청정실에서 일해본 적이 있다면 그 불안감을 잘 알 것입니다. 적외선 램프가 파손되면, 갑자기 유리 조각들과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 이는 엄청난 재앙입니다. 즉시 오염이...
에너지 절약형 반도체 히팅
스마트 팩토리에서 적절한 온도 조절 방법
인더스트리 4.0 기반의 스마트 팩토리를 구축할 때, 단순히 공기를 가열하는 방식은 더 이상 효과적이지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 보다 정밀한 제어가 필요합니다. 그래서 대부분의 사람들은 고효율의 적외선 시스템을 사용합...
반도체 히터용 테플론 와이어
안전을 위해: 화학 처리 구역에서의 적외선 히터 사용
반도체 세척 작업을 할 때는 그 위험성을 잘 알고 있을 것입니다. 사용되는 용매들은 스파크가 발생하면 엄청난 위험을 초래할 수 있습니다. 적외선 히터를 이러한 환경에 사용한다면 상황은 더욱 심각해집니다. 아주 작은...
반도체용 금 도금 적외선 램프
팹 내에서는 베이킹 온도가 0.5°C만 변동해도 치명적인 차이가 생겨나며, 이로 인해 제품의 품질이 기준치에 미치지 못할 수 있습니다. 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 가열 과정이 아닙니다. 이들은 전체 리소그래피 공정에서 필요한 열 조건을 결정하는 역할을 합니...