클래스 100급 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100급 환경에서는 위험도가 매우 높습니다. 아주 작은 피부 조각이나 먼지 한 점만 있어도 문제가 됩니다. 그러면 웨이퍼가 망가지거나 고정밀 렌즈도 사용할 수 없게 됩니다.
문제는 대부분의 가열 장치들이 이런 환경에 적합하게 만들어지지 않았다는 것입니다. 가열 및 냉각 과정에서 소량의 불순물들이 방출됩니다. 이를 해결하기 위해 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다. 이 램프들은 반도체 제조에 특별히 설계된 것입니다.
왜 석영이 중요한가?
우리는 일반적인 유리나 저품질의 재료를 사용하지 않습니다. 오염물질이 거의 없는 융합 실리카를 사용합니다. 왜냐하면 이 램프들이 최고 온도에 도달하면 저품질의 재료들에서 금속 산화물이 방출되기 때문입니다. 이는 기판을 깨끗하게 유지하려는 노력에 방해가 됩니다. 그래서 우리는 램프를 밀봉하기 전에 표면의 잔여물을 화학적으로 제거합니다. 그렇게 하면 깨끗한 열원을 얻을 수 있습니다.
전력과 열
이 램프들은 강력한 열을 발생시키도록 설계되어 있습니다. 단파든 중파든, 우리는 와트수와 길이의 비율을 매우 정확하게 조절합니다. 높은 와트수를 작은 크기에 집중시키면 빠르게 열을 발생시킬 수 있습니다. 이는 주변 장비가 너무 많은 열을 흡수하는 것을 방지해 줍니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 이 램프들은 많은 전류를 소모합니다. 만약 전선이 그에 맞지 않으면 전압 강하가 발생할 수 있습니다. 그러면 치료 과정이 고르지 않아지고, 반제품 상태의 부품이 생기게 됩니다.
램프 설치 방법
우리는 필라멘트가 있는 부분을 밀봉하여 아무것도 밖으로 나오지 않도록 합니다. 이 램프들은 대부분의 반도체 제조용 오븐에 그대로 사용할 수 있습니다.
하지만 한 가지 주의해야 할 점이 있습니다. 고순도 석영은 강화 유리보다 약간 더 깨지기 쉽습니다. 충격을 받거나 설치 시 열 팽창이 고르지 않으면 램프가 깨질 수 있습니다. 그러니 마운팅 브라켓이 완벽하게 정렬되어 있는지 확인하세요. 석영에 압력이 가해지지 않도록 하면 문제없습니다.