에바텍 증발기 가열 램프

팹 플로어에서 포토레지스트 베이크는 단순한 공정 단계가 아니라 허용 오차 한계선에 해당한다. 소프트 베이크나 하드 베이크에서 2°C의 편차는 CD 바이어스를 이동시키고, 사이드월 프로파일을 기울게 하며, 입자 수치를 규격 밖으로 벗어나게 만든다. Evatec 증발기...