Mengawal Suhu Dalam Smart Fab Anda
Jika anda sedang membina Smart Fab, anda pasti menyedari bahawa sistem pemanasan lama sudah tidak lagi sesuai untuk digunakan. Anda tidak boleh menggunakan peralatan lama untuk mengendalikan proses pemasaan yang memerlukan teknologi canggih dan penggunaan data yang tepat. Anda memerlukan cara yang lebih efektif untuk mengawal suhu.
Itulah sebabnya penggunaan sinar inframerah (IR) sangat penting. Ia merupakan cara terpantas untuk meningkatkan suhu wafer, jadi ia merupakan pilihan yang ideal jika anda ingin mengawal suhu dengan lebih tepat.
Bagaimana IR Berfungsi
Kita menggunakan pemancar sinar inframerah gelombang pendek kerana ia tidak menyebabkan masalah tambahan. Berbeza dengan kaedah konveksi yang hanya memanaskan udara sahaja, sinar inframerah menghantar tenaga secara langsung ke permukaan wafer. Tiada perantara yang diperlukan. Dengan cara ini, masa yang diperlukan untuk meningkatkan suhu menjadi sangat cepat. Ini bermakna anda dapat menjimatkan tenaga dan masa.
Membuatnya “Pintar”
Apabila orang bercakap tentang “integrasi digital”, ia biasanya kedengaran seperti promosi produk. Namun, dalam dunia nyata, ia bermaksud adanya mekanisme maklum balas yang berfungsi dengan baik. Kami membina sistem ini agar dapat berkomunikasi secara langsung dengan pengawal PLC. Sistem ini akan memantau suhu permukaan wafer secara masa nyata dan menyesuaikan kuasa pemanasan menggunakan SCR. Hasilnya, suhu wafer dapat dikawal pada tahap ±1°C. Ini sangat membantu kerana anda tidak perlu risau tentang wafer yang menjadi tidak rata atau proses dopant yang tidak sekata.
Cabaran Teknikal (Dan Cara Mengatasinya)
Namun, ia bukanlah sesuatu yang mudah. Array IR berkepadatan tinggi menghasilkan haba yang sangat banyak. Jika tidak berhati-hati, haba tersebut akan meresap ke bahagian lain dari chasis. Jika sistem penyejukan tidak mampu menanggung beban haba tersebut, suhu asas akan berubah. Ini sangat menyusahkan.
Untuk mengatasi masalah ini, kami menggunakan alat sokongan yang mempunyai konduktiviti termal yang rendah. Alat ini berfungsi sebagai “dinding” antara pemanas dan rangka fab, supaya haba tetap berada di tempatnya.
Mengapa Perlu Mengganti Pemanas Lama dengan IR?
Mengganti pemanas lama dengan unit IR bukan sahaja mempercepatkan proses pemasaan, tetapi juga mengurangkan ruang yang diperlukan. Unit IR boleh menggantikan pemanas lama dengan mudah. Anda boleh mengurangkan masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer sebanyak 60%. Ini bermakna peralatan anda akan menggunakan masa yang lebih sedikit untuk beroperasi, dan lebih banyak masa untuk menghasilkan produk. Bagi mana-mana jurutera yang ingin memodenkan proses mereka, ini merupakan cara yang paling mudah untuk mencapai tujuan tersebut.